[发明专利]曲面载台、柔性面板加工设备及拉伸底部保护膜的方法

权利要求书

1.一种曲面载台，应用于拉伸柔性面板的底部保护膜，其特征在于，包括载台本体，所述载台本体的顶部表面形成用于放置柔性底部保护膜的承载面，且所述承载面为向背离所述载台本体底面凸起的凸面，所述载台本体中形成有多个一端开口位于所述承载面上的真空吸孔，所述真空吸孔的吸附力沿所述载台本体的中心区域向所述载台本体的周边区域方向递增。

2.根据权利要求1所述的曲面载台，其特征在于，所述承载面为球面。

3.根据权利要求1所述的曲面载台，其特征在于，每个所述真空吸孔另一端的开口均形成于所述载台本体的底面上。

4.根据权利要求3所述的曲面载台，其特征在于，每个所述真空吸孔均为圆柱形孔。

5.根据权利要求4所述的曲面载台，其特征在于，每个所述真空吸孔的轴心线与所述载台本体的底面所呈角度中开口朝向所述载台本体的中心区域方向的夹角大于90度。

6.根据权利要求5所述的曲面载台，其特征在于，沿所述载台本体的中心区域指向周边区域方向，所述真空吸孔的轴线与所述载台本体的底面朝向所述中心区域的夹角度数递增。

7.根据权利要求1所述的曲面载台，其特征在于，沿任意垂直于所述载台本体的底面方向形成的所述载台本体的截面中的真空吸孔相对于所述截面的中心线对称。

8.根据权利要求7所述的曲面载台，其特征在于，每个所述真空吸孔的直径相同。

9.一种柔性面板加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的曲面载台。

10.一种应用如权利要求1-8任一项所述的曲面载台拉伸底部保护膜的方法，其特征在于，包括：

将底部保护膜铺设在载台本体的承载面上，其中，所述载台本体的承载面为向背离所述载台本体底面凸起的凸面，所述载台本体中形成有多个一端开口位于所述承载面上的真空吸孔；

将真空吸孔沿所述载台本体的中心区域向所述载台本体的周边区域方向依次开启，对所述底部保护膜进行吸附，其中，将真空吸孔的吸附力设置为沿所述载台本体的中心区域向所述载台本体的周边区域方向递增。