[发明专利]一种小型化紫外激光器变倍扩束装置

权利要求书

1.一种小型化大倍率的紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，包括沿着激光传输方向依次设置的变倍组、补偿组和固定组；所述的变倍组包括第一透镜，所述的补偿组包括第二透镜，所述的固定组包括第三透镜，所述第一透镜为弯月型负透镜或平凹型负透镜，第二透镜为双凹型负透镜，第三透镜为双凸型或平凸型正透镜，且三个透镜位于同一个光轴上，所述的变倍组和补偿组的组合与固定组构成伽利略望远系统的结构所述的紫外激光扩束系统对波长为355nm，光斑直径为100-1000um，发散角小于2mrad的激光光束的扩束倍率为2-10倍，输出光斑可达到衍射极限。

2.如权利要求1所述的小型化大倍率紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，所述的变倍组第一透镜包括第一曲面和第二曲面，所述的补偿组第二透镜包括第三曲面和第四曲面，所述的固定组第三透镜包括第五曲面和第六曲面。

3.如权利要求2所述的小型化大倍率紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，所述的第一曲面的曲率半径为19.65mm，第二曲面的曲率半径为4.96mm，第三曲面的曲率半径为-10.96mm，第四曲面的曲率半径为12.23mm，第五曲面的曲率半径为15.24mm，第六曲面的曲率半径为-9.54mm，各曲率半径的公差为±5％。

4.如权利要求3所述的小型化大倍率紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，所述的第一透镜的中心厚度为0.6mm，所述的第二透镜的中心厚度为0.6mm，所述的第三透镜的中心厚度为2.4mm，各中心厚度的公差为±5％。

5.如权利要求3所述的小型化大倍率紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，所述的第一透镜与第二透镜的空气间隔为0.4mm，第二透镜与第三透镜的空气间隔为4.2mm，各空气间隔的公差为±5％，所述的紫外激光扩束系统的放大倍率为2倍。

6.如权利要求3所述的小型化大倍率紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，所述的第一透镜与第二透镜的空气间隔为24mm，第二透镜与第三透镜的空气间隔为1.8mm，各空气间隔的公差为±5％，所述的紫外激光扩束系统的放大倍率为4倍。

7.如权利要求3所述的小型化大倍率紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，所述的第一透镜与第二透镜的空气间隔为47.6mm，第二透镜与第三透镜的空气间隔为1mm，各空气间隔的公差为±5％，所述的紫外激光扩束系统的放大倍率为6倍。

8.如权利要求3所述的小型化大倍率紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，所述的第一透镜与第二透镜的空气间隔为71.3mm，第二透镜与第三透镜的空气间隔为0.6mm，各空气间隔的公差为±5％，所述的紫外激光扩束系统的放大倍率为8倍。

9.如权利要求3所述的小型化大倍率紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，所述的第一透镜与第二透镜的空气间隔为95mm，第二透镜与第三透镜的空气间隔为0.4mm，各空气间隔的公差为±5％，所述的紫外激光扩束系统的放大倍率为10倍。

10.如权利要求2到9任一项所述的小型化大倍率紫外激光器变倍扩束系统，其特征在于，所述第一透镜、第二透镜和第三透镜的材料为Nd/Vd＝1.5/64，其中折射率Nd值的公差为±0.07，阿贝数Vd值的公差为±5％。