[发明专利]一种固定大尺寸单晶炉热场的支架结构在审
申请号: | 201810376647.2 | 申请日: | 2018-04-25 |
公开(公告)号: | CN108277525A | 公开(公告)日: | 2018-07-13 |
发明(设计)人: | 左洪波;杨鑫宏;李铁;周德印 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150001 黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 圆形支撑板 支架结构 不锈钢圆管 蓝宝石单晶 热场结构 中间连接 炉热 大尺寸单晶 圆形不锈钢 不锈钢板 倒角设计 结构整体 结构组成 内外两层 不对称 单晶炉 高品质 圆筒状 形变 热场 焊接 生长 支撑 | ||
本发明涉及一种固定蓝宝石单晶炉热场的支架结构,该结构整体由上部圆形支撑板结构、下部圆形支撑板结构和中间连接结构组成。上、下圆形支撑板结构均为不锈钢板围成圆筒状,分内外两层,中间采用不锈钢圆管进行焊接支撑,同时在内外两侧圆形不锈钢筒的两端向内部进行梯形倒角设计;中间连接结构采用不锈钢圆管固定连接上部和下部圆形支撑板结构。本发明支架结构可以将单晶炉内的热场结构固定,避免热场结构在高温情况下发生形变和位移,致使热场不对称,防止晶体出现粘埚及其它缺陷,更利于大尺寸、高品质蓝宝石单晶的生长。
技术领域
本发明涉及一种固定蓝宝石单晶炉热场的支架结构,具体涉及一种固定大尺寸蓝宝石单晶炉热场的支架结构。
背景技术
蓝宝石的组成为氧化铝,是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构。由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外线光到中红外线都具有很好的透光性,因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上。
泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶对炉内热场的稳定性要求较严格,保温效果好、稳定的热场结构更利于生长大尺寸蓝宝石单晶,但目前大尺寸蓝宝石单晶炉内的热场结构由于过大,加热时各位置受热不均匀,导致在设备运行过程中易出现热场结构在单晶炉内偏移的情况。热场结构偏移影响整体温度梯度的分布,熔体冷心偏移,从而导致晶体粘埚、产生内部缺陷,无法满足大尺寸蓝宝石单晶的生长,所以为提高大尺寸蓝宝石单晶的成品率,减少晶体内部缺陷,有必要研究一种可以稳定大尺寸蓝宝石单晶炉热场的支架结构。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可以将单晶炉内的热场结构固定,避免热场结构在高温情况下发生形变和位移,致使热场不对称,防止晶体出现粘埚及其它缺陷,更利于大尺寸、高品质蓝宝石单晶生长的固定大尺寸单晶炉热场的支架结构。
本发明的目的是这样实现的:它包括上部圆形支撑板结构、下部圆形支撑板结构和中间连接结构组成,上部圆形支撑板结构、下部圆形支撑板结构均为不锈钢板围成圆筒状,分内外两层,内层与热场结构接触,外层与大炉壳的内壁接触,中间采用不锈钢圆管进行焊接支撑,同时在内外两侧圆形不锈钢筒的两端向内部设置有梯形倒角;中间连接结构采用不锈钢圆管固定连接上部和下部圆形支撑板结构,均匀分布在四周。
本发明还有这样一些特征:
1、 所述的上部圆形支撑板结构为1~4mm后的长条不锈钢板围成圆筒状,不锈钢板条宽为40~100mm,且分为内、外两层。
2、 所述的内、外两层圆形支撑板中间用Φ10~Φ16的不锈钢圆管焊接支撑,且均匀分布。
3、所述的圆形支撑板结构长条不锈钢板上下两边进行梯形倒角,或采用5~10mm的长方形不锈钢板条向内侧倾斜45°焊接。
4、 所述的下部圆形支撑板结构与上部圆形支撑板结构相同。
5、 所述的中间连接结构采用Φ10~Φ16的不锈钢圆管焊接固定,使整个装置的高度与热场的侧面保温结构相同。
本发明有益效果有:
1.本发明支撑板结构的梯形倒角设计更利于整体结构的安装,避免安装时对热场的侧面保温结构造成损伤。
2.本发明支撑板结构分上下两层支撑,可以增强稳定性,使热场的侧面保温结构上、下受力均匀,稳定效果更好。
3.本发明整体结构可以固定单晶炉的热场,使热场在单晶炉内不发生位移,增强热场的中心对称性,避免长晶过程中出现粘埚及其它缺陷。
附图说明
图1为本发明结构示意图;
图2为中间连接结构结构示意图。
具体实施方式
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司,未经哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810376647.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。