[发明专利]双面镀膜设备及其载板处理单元在审
| 申请号： | 201810375105.3 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN110396673A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 杨斌 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 载板 工作腔 处理单元 工艺腔 腔体 处理装置 双面镀膜 开腔 镀膜效果 镀膜效率 镀膜装置 腔体连通 设置处理 连通 体内 | ||
1.一种载板处理单元，其特征在于，包括：
与工作腔(4)连通的附加腔体(10)；
用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。
2.如权利要求1所述的载板处理单元，其特征在于，所述处理装置(101)设置在所述附加腔体(10)内，能够伸入所述工作腔(4)内拿取所述载板(1)的机械手。
3.如权利要求1所述的载板处理单元，其特征在于，所述附加腔体(10)与所述工作腔(4)的排列方向垂直于所述载板(1)的工艺流程方向；
所述载板(1)的工艺流程方向为所述工作腔(4)到所述工艺腔(6)的方向。
4.如权利要求1-3任一项所述的载板处理单元，其特征在于，所述工作腔(4)内设置有用于检测所述载板(1)是否有碎片的碎片检测装置。
5.一种双面镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的载板处理单元。
6.如权利要求5所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔(4)为前置隔离腔。
7.如权利要求5所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔(4)设置有供所述载板(1)沿其工艺流程方向进入所述工作腔(4)的工作腔进口(3-4)，供所述载板(1)沿其工艺流程方向移出所述工作腔(4)的工作腔出口(4-5)，供所述载板(1)移至所述附加腔体(10)的附加出口(4-10)。
8.如权利要求7所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔进口(3-4)与所述工作腔出口(4-5)位于同一水平面上，所述附加出口(4-10)与所述工作腔出口(4-5)之间具有高度差，有碎片的所述载板(1)能够与所述附加出口(4-10)对齐；
所述处理装置(101)为能够由所述附加出口(4-10)进入所述工作腔(4)的平动型单轴机械手。
9.如权利要求7所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔进口(3-4)、所述工作腔出口(4-5)和所述附加出口(4-10)均设置有密封门阀。
10.如权利要求7所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述附加出口(4-10)高于所述工作腔出口(4-5)，所述工作腔(4)内还设置具有能够将所述载板(1)顶至与所述附加出口(4-10)水平对齐的位置的升顶装置。
11.如权利要求10所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述升顶装置包括：
升降驱动单元(410)；
与所述升降驱动单元(410)的驱动端连接的连接板(411)；
设置于所述连接板(411)远离所述升降驱动单元(410)的一侧的升顶柱(412)。
12.如权利要求5所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔(4)设置有供所述载板(1)移至所述附加腔体(10)的附加出口(4-10)；
所述处理装置(101)为能够由所述附加出口(4-10)进入所述工作腔(4)的机械手，所述机械手为能够实现平动与升降的多轴机械手。
13.如权利要求5-12任一项所述的双面镀膜设备，其特征在于，所述工作腔(4)与所述附加腔体(10)之间设置有附加门阀(a10)。
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