[发明专利]高表面平整度的蓝宝石抛光液及其抛光工艺

权利要求书

1.一种高表面平整度的蓝宝石抛光液，其特征在于：包括粗抛光液和精抛光液，所述的粗抛光液包括含有重量比20-50%二氧化铝纳米颗粒、3-10%的甲醇钠、0.1-1%的亚甲基二萘磺酸钠、0.5-2%的亚氨基二琥珀酸钠盐以及余量的溶剂；所述的精抛光液包括含有重量比20-50%亲水型二氧化硅纳米颗粒、0.1-1%的非离子型表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO)、0.5-2%的聚丙烯酸钠、0.2-1.5%的羟乙级乙二胺以及余量的溶剂。

2.根据权利要求1所述的高表面平整度的蓝宝石抛光液，其特征在于：所述粗抛光液中的二氧化铝纳米颗粒的粒径D50为180纳米，D97为250纳米。

3.根据权利要求1所述的高表面平整度的蓝宝石抛光液，其特征在于：所述精抛光液中的二氧化硅纳米颗粒的粒径D50为70纳米，D97为90纳米。

4.一种利用权利要求1-3任意一项的高表面平整度的蓝宝石抛光液的抛光工艺，其特征在于：先用粗抛液对蓝宝石抛光，抛光压力在0.1Mpa 至0.2Mpa ,抛光盘转速60-90r/min, 抛光液流速200-300mL/min, 抛光温度20-35℃，抛光时间10分钟，抛光去除率为250-320nm/min,表面粗糙度Ra可达0.3nm,平整度0.2μm；后用精抛液对蓝宝石抛光，抛光盘转速40-60r/min, 抛光液流速120-180mL/min, 抛光温度20-35℃，抛光时间5分钟，抛光去除率为20-50nm/min,表面粗糙度Ra小于0.1nm，平整度0.1μm。