[发明专利]存储介质、晶体生长方法及其系统有效
申请号: | 201810360381.2 | 申请日: | 2018-04-20 |
公开(公告)号: | CN108411361B | 公开(公告)日: | 2023-01-06 |
发明(设计)人: | 何熠岑;门玉玲 | 申请(专利权)人: | 何熠岑 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 上海政济知识产权代理事务所(普通合伙) 31479 | 代理人: | 郑金彩 |
地址: | 201615 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 存储 介质 晶体生长 方法 及其 系统 | ||
1.一种晶体生长方法,应用于泡生法蓝宝石晶体生长,其特征在于,包括如下步骤:
获取晶体生长炉内的视频图像;
将蓝宝石材料加热至熔融状态;
调节炉内温度,同时分析蓝宝石晶体在熔融状态下的液流线图像,借助图像分析程序,将实时液流线间距变化图像与预设液流线变化图像作相似度拟合对比;
当在第一预设时间段内,实时液流线间距变化图像与预设液流线变化图像的相似度大于或等于预设的第一相似百分比时,进入引晶步骤;
所述预设的时间段为30秒至5分钟,所述预设的第一相似百分比为75%;
在所述引晶步骤中,还包括如下子步骤:
向着靠近蓝宝石晶体的熔融液面的方向降低籽晶;
每下降一定的距离后,暂停下降,分析籽晶图像,借助图像分析程序,将第二预设时间段内的第一帧图像的籽晶尺寸和之后的图像的籽晶尺寸作对比;
当在第二预设时间段内所对比的图像中,有任意一帧图像的籽晶的尺寸小于第一帧的尺寸时,提升籽晶,否则继续下降,直至籽晶与蓝宝石晶体的熔融液面相接触,开始洗晶;
所述第二预设时间段大于或等于1分钟且小于或等于30分钟。
2.根据权利要求1所述的晶体生长方法,其特征在于,所述预设液流线变化图像根据在先的多次成功引晶时的视频图像拟合后生成。
3.根据权利要求1所述的晶体生长方法,其特征在于,在所述分析蓝宝石晶体在熔融状态下的液流线图像的步骤中,截取所述第一预设时间段内的各帧图像并逐帧与所述预设液流线变化图像比对;
当在所述第一预设时间段内的各帧实时液流线间距变化图像中,有任意一帧的图像与预设液流线变化图像中的任意一帧的图像的相似度大于或等于所述第一相似百分比时,比对下一帧的实时液流线间距变化图像和下一帧的预设液流线变化图像,直至在所述第一预设时间段内的各帧的图像的相似度都大于所述第一相似百分比时,进入引晶步骤。
4.根据权利要求1所述的晶体生长方法,其特征在于,在所述调节炉内温度,同时分析蓝宝石晶体在熔融状态下的液流线图像的步骤之前,还包括如下步骤:
判断本次晶体生长的生长炉内的蓝宝石晶体材料的回用次数;
在所述调节炉内温度,同时分析蓝宝石晶体在熔融状态下的液流线图像的步骤中,根据所述回用次数,调用与所述回用次数相同的预设液流线变化图像。
5.一种计算机可读存储介质,存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机可读存储介质所存储的计算机程序在被处理器执行时,能够实现如权利要求1至4中任意一项所述的步骤。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于何熠岑,未经何熠岑许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810360381.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种全氮生长直拉硅单晶的方法
- 下一篇:腔室及外延生长设备