[发明专利]金属化薄膜方阻在线监视装置在审
| 申请号： | 201810347334.4 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108827164A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 钱锦绣 | 申请（专利权）人： | 钱立文 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 244000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属化薄膜 真空蒸镀 人机界面 在线监视装置 测控主机 真空电极 法兰 方阻 室外 光源发射头 光源接收头 金属镀层 控制器 操作面 侧壁孔 电连接 均匀性 控制盒 室内外 蒸镀室 镀层 镀膜 蒸镀 垂直 室内 | ||
1.一种金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于包括安装在真空蒸镀室内的测控主机(1)、安装在真空蒸镀室外的人机界面(2)、以及用于电连接真空蒸镀室内外的真空电极法兰(3)；所述的测控主机包含机架(11)、固设在机架(11)垂直面的控制器(14)、固设在机架(11)水平面的至少一对光源发射头(12)、光源接收头(13)，所述控制器(14)至少包含一对用于实现光密度测试的光源发射输出端和光源接收输入端、以及用于实现测控主机供电与人机界面通讯的电接口(16)，所述光源发射头(12)、光源接收头(13)分别与控制器的光源发射输出端和光源接收输入端电连接；所述的人机界面(2)固设在蒸镀室外的控制盒操作面，用于显示所有测试点数据的实时监控；所述的真空电极法兰(3)固设在蒸镀室侧壁孔(4)上。
2.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述测控主机(1)的光源发射头(12)、光源接收头(13)与金属化薄膜膜(5)幅面呈垂直设置，金属化薄膜(5)膜幅面位于光源发射头(12)与光源接收头(13)之间。
3.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述真空电极法兰(3)为5针电极，分别用于电连接DC7.5V +、DC7.5V -、RS485+、RS485-、接地，其中：DC7.5V +、DC7.5V –用于测控主机(1)的控制器(14)供电，RS485+、RS485-、接地用于测控主机(1)的控制器(14)与人机界面(2)通讯。
4.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述控制器(14)的电接口(16)电线通过接插母头分别插入真空电极法兰(3)真空蒸镀室内侧的电极针上，再分别通过接插母头插入真空电极法兰(3)真空蒸镀室外侧的电极针上，其中：DC7.5V+、DC7.5V –电连接至电源上，RS485+、RS485-、接地电连接至人机界面(2)接线端子上。
5.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述测控主机(1)与人机界面(2)采用RS485通讯。
6.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜方阻在线监视装置，其特征在于所述测控主机(1)的光源发射头(12)、光源接收头(13)间隙为20mm左右。
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