[发明专利]钽钨合金箔材制备方法及钽钨合金箔材

权利要求书

1.钽钨合金箔材的制备方法，其特征在于：其包括以下步骤：

步骤一、将钨粉与钽粉混合得到混合粉末，其中，钨粉的质量百分比为10.0-11.5％，所述钨粉包括粒径为1-3μm的钨粉、粒径为3-5μm的钨粉和粒径为5-7μm钨粉；

步骤二、将混合粉末冷压成型，并进行真空烧结，得到烧结坯锭；

步骤三、将烧结坯锭进行真空垂熔处理，得到垂熔坯锭；

步骤四、将垂熔坯锭在氩气室中进行不锈钢包套；

步骤五、在预设开坯温度下对进步骤四处理后的垂熔坯锭进行锻造开坯；

步骤六、去掉坯锭表面不锈钢包套，交替进行多道次冷轧变形和退火处理，当坯锭冷轧变形至厚度为0.01mm后进行表面清洗；然后进行真空退火和带张力冷轧变形，得到厚度小于7μm的箔材；

其中，冷轧变形的总变形量为70-80％，每次冷轧变形包括至少两道次冷轧变形，退火处理的处理温度为1250-1350℃；其中，第一次冷轧变形的首道次冷轧变形量大于35％，第一次冷轧变形的后续道次变形量大于10％，退火后的每次冷轧变形的首道次变形量大于25％，每次冷轧变形的后续道次变形量大于10％；

真空退火的处理温度为1250-1350℃，真空度为0～10^-3Pa，带张力冷轧变形的首道次变形量大于25％，带张力冷轧变形的后续道次变形量大于10％；

步骤七、将箔材缠绕在铸铁管上进行真空退火处理，自然冷却后获得所需的钽钨合金箔材；

其中，真空度为0～10^-4Pa，处理温度为700-790℃，处理时间为1-2h；真空退火后随炉自热冷却获得所需的钽钨合金箔材。

2.根据权利要求1所述的钽钨合金箔材的制备方法，其特征在于：在步骤一中，所述钨粉和所述钽粉在球磨机中进行混合；其中，粒径为1-3μm的钨粉的质量百分比为25-35％，粒径为3-5μm的钨粉的质量百分比为45-60％，粒径为5-7μm的钨粉的质量百分比为15-20％；所述钽粉在制备原料中的质量百分比为90.0-88.5％，所述钽粉的粒径小于15μm。

3.根据权利要求1所述的钽钨合金箔材的制备方法，其特征在于：在步骤二中，真空烧结的烧结温度为2350-2450℃，烧结时间为1-2h，真空度为0～10^-4Pa。

4.根据权利要求1所述的钽钨合金箔材的制备方法，其特征在于：在步骤三中，真空垂熔的处理温度为2200-2400℃，处理时间为15-30min。

5.根据权利要求1所述的钽钨合金箔材的制备方法，其特征在于：在步骤五中，预设开坯温度为1300-1500℃，且锻造过程中不断进行90°翻边；其中，总热锻造变形量大于200％。