[发明专利]剥离膜、显示设备的制造方法及显示设备的制造装置

说明书

本发明涉及剥离膜、显示设备的制造方法及显示设备的制造装置。本发明提供一种剥离膜，其在基材的表面与物体的表面之间并与基材的表面和物体的表面接触。剥离膜包括结晶层以及与结晶层接触的脱粘层。脱粘层具有孔并且包括能够溶解于溶剂中的非晶质物质。

技术领域

本发明涉及剥离膜、显示设备的制造方法及显示设备的制造装置。

背景技术

诸如柔性显示设备和柔性太阳能电池的柔性设备已被广泛地研究和开发。在柔性显示设备中，适于具有柔性结构的有机发光二极管(OLED)显示设备已被大力研究和开发。

柔性OLED显示设备的制造在玻璃基板上形成聚酰亚胺层作为树脂基板，在聚酰亚胺层上形成薄膜晶体管电路和OLED元件，并从聚酰亚胺层脱粘玻璃基板(例如，参照JP2006-216891A)。

发明内容

从装置制造的产量的观点出发，需要能够在更短的时间内完成脱粘工序的剥离膜。

本发明的一个方面是一种剥离膜，其在基材的表面与物体的表面之间并与基材的表面和物体的表面接触，所述剥离膜包括：结晶层；以及与结晶层接触的脱粘层，其中，所述脱粘层具有孔并且包括能够溶解于溶剂中的非晶质物质。

本发明的一个方面实现脱粘的处理时间的缩短。

应该理解的是，上面的概述和下面的详述是示例性和说明性的，而并不是对本发明的限制。

附图说明

图1示意性地示出了柔性OLED显示设备的结构示例；

图2示意性地示出了柔性OLED显示设备的剖面结构的一部分；

图3A是示意性地示出母基板的结构示例的俯视图；

图3B是示意性地示出母基板的结构示例的剖视图；

图3C是示意性地示出母基板的另一结构示例的剖视图；

图3D是示意性地示出显示面板层叠体的另一结构示例的剖视图；

图4A是示意性地示出母基板的又一结构示例的俯视图；

图4B是示意性地示出母基板的又一结构示例的剖视图；

图5是显示面板的制造方法的示例的流程图；

图6示意性地示出脱粘工序的示例；

图7示意性地示出脱粘工序的另一示例；

图8是本实施方式中的退火后的氧化钼膜的剖面的TEM图像以及作为比较例的氧化钼膜的剖面的TEM图像；

图9A示意性地示出本实施方式的氧化钼膜的剖面结构；以及

图9B示意性地示出比较例的氧化钼膜的剖面结构。

具体实施方式

在下文中，将参照附图描述本发明的实施方式。应该注意的是，该实施方式仅是实现本发明的一示例，而不旨在限制本发明的技术范围。附图中共同的元件由相同的附图标记表示。

在本发明中，描述了剥离膜以及基于溶解剥离膜的脱粘工艺。脱粘也称为分离。本发明的剥离膜和脱粘工艺可应用于诸如柔性有机发光二极管(OLED)显示设备的柔性显示设备。本发明的剥离膜和脱粘工艺可应用于在其他实现方式中从基材脱粘物体。下文描述柔性OLED显示设备的例子。

柔性显示设备的结构