[发明专利]一种基于分流效应的高精度微波功率检测系统

权利要求书

1.一种基于分流效应的高精度微波功率检测系统，其特征在于：包括衬底、共面波导传输线、致密电阻（1）和传感器，所述共面波导传输线、致密电阻（1）和传感器均设置于衬底上，所述共面波导传输线包括第一共面波导中心信号线（10）、第二共面波导中心信号线（20）和地线（30），所述地线（30）设置在第一共面波导中心信号线（10）和第二共面波导中心信号线（20）的两侧；

所述传感器为热电式微波功率传感器，所述热电式微波功率传感器包括热电堆（2）和两个并联的第一终端电阻（3）和第二终端电阻（4），第一终端电阻（3）和第二终端电阻（4）并联设置在第二共面波导中心信号线（20）的两侧，所述第一终端电阻的两端分别电性连接有第二共面波导中心信号线（20）和地线（30），所述第二终端电阻的两端分别电性连接有第二共面波导中心信号线（20）和地线（30）；

待测微波信号在共面波导传输线上传输时，会在中心信号线上产生正比于微波信号功率的电流，在经过致密电阻时，部分微波信号转化为致密电阻上的电压，通过测量致密电阻输出端的电压，即可获得与电压值一一对应的微波功率的大小；未被致密电阻所吸收的微波信号，沿着第二共面波导中心信号线（20）继续传输至终端电阻，终端电阻吸收电流温度升高，使得终端电阻周围的热电堆的热端与冷端之间产生温度差，基于Seebeck效应，在热电堆的输出端产生正比于微波信号功率的直流电压，通过测量热电堆输出端的电压，即可获得与电压值一一对应的微波功率的大小；将待测微波信号分为致密电阻、热电堆这两路先后测量，待测微波信号的功率为致密电阻端测得的功率与热电堆端测得的功率之和。

2.根据权利要求1所述的一种基于分流效应的高精度微波功率检测系统，其特征在于：所述衬底的材质为砷化镓。

3.根据权利要求1所述的一种基于分流效应的高精度微波功率检测系统，其特征在于：所述热电堆（2）与第一终端电阻（3）和第二终端电阻（4）间隙设置，且热电堆设置在第一终端电阻（3）和第二终端电阻（4）的右侧，热电堆具有冷端和热端，在冷端设置有电压输出端（5）。

4.根据权利要求1所述的一种基于分流效应的高精度微波功率检测系统，其特征在于：所述致密电阻（1）设置在第一共面波导中心信号线（10）和第二共面波导中心信号线（20）的中间；所述致密电阻（1）的两侧淀积有绝缘层氮化硅（6），在绝缘层氮化硅（6）的外侧淀积有金属作为电压测试端口（7）。

5.根据权利要求4所述的一种基于分流效应的高精度微波功率检测系统，其特征在于：所述致密电阻（1）以锰铜材料为材料，所述金属为铝。