[发明专利]一种光学位移传感器装置及使用上述传感器装置的测量尺

权利要求书

1.一种光学位移传感器装置，其包括光源部和成像部，其特征在于，所述光源部包括单色光源和准直透镜，所述准直透镜用于将所述单色光源发出的光变成平行光，所述成像部包括顺次布置的成像透镜、光阑和CCD传感器，所述CCD传感器将接收到的光信号转化为用于位移测量的电信号，所述光源部和所述成像部外部设置有密封罩。

2.根据权利要求1所述的一种光学位移传感器装置，其特征在于，所述单色光源为LED单色光源，所述准直透镜包括设置于前端的均匀准直透镜和后端的聚光准直透镜。

3.根据权利要求1所述的一种光学位移传感器装置，其特征在于，所述均匀准直透镜与所述聚光准直透镜之间设置有遮光板。

4.根据权利要求1所述的一种光学位移传感器装置，其特征在于，所述光源部和所述成像部处于同一中心线布置。

5.根据权利要求1所述的一种光学位移传感器装置，其特征在于，所述光源部的中心线与所述成像部的中心线相垂直，所述光源部的中心线与所述成像部的中心线的交点处设置有与所述中心线呈45度夹角的半反半透镜。

6.一种使用上述光学位移传感器装置的测量尺，其包括定尺和动尺，其特征在于，所述动尺包括设置于一个所述密封罩内的所述光源部、半反半透镜、成像部，所述动尺设置于所述定尺上方，所述定尺的尺面上设置有测量标记，所述单色光源发出并透过所述半反半透镜的光与所述定尺的尺面垂直。

7.根据权利要求1所述的一种光学位移传感器装置，其特征在于，所述定尺的尺面上镀有一排金属片或尺面上设有粗糙纹路。

8.一种使用上述光学位移传感器装置的测量尺，其包括定尺和动尺，其特征在于，所述动尺包括设置于所述定尺一侧的所述光源部和设置于所述定尺另一侧的所述成像部，所述定尺本体为透明结构且尺面上设置有测量标记，所述单色光源发出并透过所述准直透镜的光与所述定尺的尺面垂直。

9.根据权利要求1所述的一种光学位移传感器装置，其特征在于，所述定尺的尺面上镀有一排金属片。

10.根据权利要求7或9所述的一种光学位移传感器装置，其特征在于，所述金属片包括至少三种不同宽度，其中最小宽度的金属片为周期分割线，相邻的两片最小宽度的金属片之间间距排布其余宽度的至少两片金属片形成一个测量周期，所述定尺上均匀分布多个所述测量周期。