[发明专利]一种用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定方法有效
| 申请号： | 201810332847.8 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108592790B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;由小玉;陈刚;王宇航;刘辰光;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学;南京谱锐西玛仪器有限公司;北京锐驰恒业仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 改进型 扫描 方法 延迟 相位 标定 | ||
1.一种用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定方法，其特征在于，包括：
(a)使用α-β扫描方法完成对正交网格光栅样品扫描成像，即使用频率为f，初始相位分别为0和π/2正弦信号控制检流式振镜系统，偏转激光光束扫描；
(b)根据使用目标轨迹重构的扫描图像与目标图像相对位置关系确认扫描图像旋转角度θ，角度值θ转换弧度值φ，φ即为在频率为f时延迟相位大小；
(c)重复步骤(a)和(b)，获得不同频率fk下延迟相位大小φk；
(d)根据步骤(c)获得的多组测量结果，拟合f-φ函数关系，即为扫描频率与相位延迟函数关系，最终完成用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定。
2.根据权利要求1所述的用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定方法，其特征在于，使用α-β扫描方法控制激光光斑对光栅样品进行等角速度扫描，即激光光斑在每个圆周上角速度保持不变。
3.根据权利要求1所述的用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定方法，其特征在于，使用频率为f、初始相位分别为0和π/2正弦信号控制检流式振镜系统完成二维扫描。
4.根据权利要求1所述的用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定方法，其特征在于，目标图像是在同一光学系统中通过CCD拍摄的待测样品图像。
5.根据权利要求1所述的用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定方法，其特征在于，重构扫描图像使之与目标图像匹配，从而获取扫描图像与目标图像相对旋转角度θ，从而确定在频率为f时延迟相位大小φ。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学;南京谱锐西玛仪器有限公司;北京锐驰恒业仪器科技有限公司，未经哈尔滨工业大学;南京谱锐西玛仪器有限公司;北京锐驰恒业仪器科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810332847.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
