[发明专利]一种利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法在审
| 申请号： | 201810332678.8 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108315820A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 张文霞;谷守伟;高润飞;郝勇;刘伟;武志军;田野;张全顺;裘孝顺 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B27/02;C30B15/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掺氮 单晶硅 回收料 直拉单晶硅棒 原料装入坩埚 氮气 熔化 原料熔化 加料 掺杂物 多晶硅 坩埚 加热 生产成本 电池 生产 | ||
1.一种利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法，其特征在于，依次包括：
S11：加料，将多晶硅、掺杂物和掺氮单晶硅回收料作为原料装入坩埚内；
S12：熔化，加热，使所述坩埚内的原料熔化。
2.根据权利要求1所述的利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法，其特征在于，所述加料步骤之前还包括掺氮单晶硅回收料的预处理，具体包括如下步骤：
S101：去除掺氮单晶硅回收料表面氧化层；
S102：粉碎掺氮单晶硅回收料；
S103：清洗粉碎后的掺氮单晶硅回收料。
3.根据权利要求2所述的利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法，其特征在于，所述清洗粉碎后的掺氮单晶硅回收料，依次包括：
S121：采用硝酸与氢氟酸的混合液清洗所述掺氮单晶硅回收料；
S122：采用高纯水清洗所述掺氮单晶硅回收料；
S123：烘干所述掺氮单晶硅回收料。
4.根据权利要求1所述的利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法，其特征在于：所述步骤S121中，在硝酸与氢氟酸的混合液中放置无用破损硅片。
5.根据权利要求4或5所述的利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法，其特征在于：所述步骤S121中，所述氢氟酸与所述硝酸的体积比为1:3-1:7。
6.根据权利要求1所述的利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法，其特征在于：所述加热的温度大于1450℃。
7.根据权利要求1所述的利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法，其特征在于：所述掺杂物为III族元素杂质或者V族元素杂质。
8.根据权利要求1所述的利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法，其特征在于：所述装料步骤中，所述掺氮单晶硅回收料与多晶硅的质量比为1:3-1:9。
9.根据权利要求1所述的利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法，其特征在于：所述熔化步骤后还依次包括种晶、缩颈、放肩、等径和收尾步骤，所述熔化、种晶、缩颈、放肩、等径和收尾步骤中，均充入氩气作为炉体保护气，充入的氩气流量为50L/min，压力为11Torr。
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