[发明专利]一种全氮硅单晶拉晶用装置

权利要求书

1.一种全氮硅单晶拉晶用装置，包括炉体，其特征在于：所述炉体内设置坩埚、导流筒和用于挂设所述导流筒的悬挂装置，所述导流筒位于所述坩埚的上部，所述炉体的顶部开设有氮气进气口，所述悬挂装置包括中空的悬臂和进气盘，所述进气盘固定连接于所述悬臂的底部，所述悬臂的一端伸出所述炉体，所述悬臂的另一端伸入所述炉体的炉盖下与所述进气盘连通，所述悬臂的顶部连接氩气进气管路。

2.根据权利要求1或2所述的一种全氮硅单晶拉晶用装置，其特征在于：所述进气盘为中空结构，所述进气盘的顶部与所述悬臂的底部连通，所述进气盘的底部设有通气孔，所述通气孔朝向靠近坩埚内熔体的位置。

3.根据权利要求2所述的一种全氮硅单晶拉晶用装置，其特征在于：所述悬臂设置为多个，其中一个所述悬臂的顶部设有氩气进气口，用于连接氩气进气管路，其他所述悬臂连接动力机构，用于升降所述悬挂装置。

4.根据权利要求1所述的一种全氮硅单晶拉晶用装置，其特征在于：所述炉体内壁还设有保温装置，所述保温装置内设置有加热器，所述加热器对所述坩埚的周侧加热。

5.根据权利要求4所述的一种全氮硅单晶拉晶用装置，其特征在于：所述加热器的底部连接有电极柱，所述电极柱连接电源。

6.根据权利要求1所述的一种全氮硅单晶拉晶用装置，其特征在于：所述炉体内还包括埚杆，所述埚杆的一端固定连接在所述坩埚的底部，所述锅杆的另一端伸出所述炉体。

7.根据权利要求1所述的一种全氮硅单晶拉晶用装置，其特征在于：所述炉体侧壁设有贯穿于所述炉体和所述保温桶的抽气通孔。