[发明专利]一种防凝固液槽、防凝固液槽系统和防凝固方法

说明书

本发明涉及一种防凝固液槽、防凝固液槽系统和防凝固方法，液槽底部开设有出液口，液槽侧壁靠下的位置上开设有进液口；液槽内形成有进液腔、储液腔和出液腔，储液腔上端为与外界连通的敞口，储液腔下端与出液腔连通，出液腔下端与出液口连通；进液腔上端与储液腔上端连通，进液腔下端与进液口连通。本发明的防凝固液槽，将液体从下至上流过进液腔进入储液腔，再从上至下流过出液腔，使得液体在液槽内持续循环流动，液体不容易凝固；而且本发明的液槽的储液腔上端为敞口结构，液槽结合外部循环操作后，对于粘度较大或较易凝固的清洗液或涂覆液，且清洗或涂覆过程中无法将液槽进行密闭处理的情况下，仍然能够有效防止液槽中液体凝固。

技术领域

本发明涉及一种机械设备领域中的清洗设备或涂覆设备，具体涉及一种在清洗或涂覆操作时防止液槽中液体凝固的防凝固液槽、防凝固液槽系统和防凝固方法。

背景技术

对工件进行清洗或涂覆是半导体行业及其相关工业生产行业中广泛应用的操作。在对工件进行清洗或涂覆操作时，若液槽中液体容易挥发凝固又无法将液槽进行密闭处理时，特别是液槽附近存在气刀等容易引起液槽周边空气流动的装置时，液槽内液体容易在表面凝固形成一层薄膜，且可能时间过长会直接在液槽中表干，严重影响后续清洗或涂覆质量，给使用者带来不便。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种防凝固液槽、防凝固液槽系统和防凝固方法。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种防凝固液槽，所述液槽底部开设有出液口，所述液槽侧壁靠下的位置上开设有进液口；所述液槽内形成有进液腔、储液腔和出液腔，所述储液腔上端为与外界连通的敞口，所述储液腔下端与所述出液腔连通，所述出液腔下端与所述出液口连通；所述进液腔上端与所述储液腔上端连通，所述进液腔下端与所述进液口连通。

本发明的有益效果是：本发明的防凝固液槽，通过设置进液腔、储液腔和出液腔，并将液体从下至上流过进液腔进入储液腔，再从上至下流过出液腔，使得液体在液槽内持续循环流动，液体不容易凝固；而且本发明的液槽的储液腔上端为敞口结构，液槽结合外部循环操作后，对于粘度较大或较易凝固的清洗液或涂覆液，且清洗或涂覆过程中无法将液槽进行密闭处理的情况下，仍然能够有效防止液槽中液体凝固。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。

进一步，所述进液腔包括从上至下依次设置的上进液缓冲腔、若干进液通道和下进液缓冲腔，若干所述进液通道竖向并排布置且相互独立；若干所述进液通道的上端均与所述上进液缓冲腔连通，下端均与所述下进液缓冲腔连通；所述进液口与所述下进液缓冲腔连通，所述上进液缓冲腔与所述储液腔上端连通。

采用上述进一步方案的有益效果是：进液腔设置为上进液缓冲腔、若干进液通道和下进液缓冲腔，一方面使液体均匀平缓的流入和流出，而且另一方面使得液体经过若干进液通道的分流，加强了液体的流动性和相互之间的黏着效果，进一步增强了防凝固效果。

进一步，所述上进液缓冲腔以及所述下进液缓冲腔的水平宽度均大于所述进液通道的水平宽度。

采用上述进一步方案的有益效果是：使进液缓冲腔的水平宽度大于进液通道的水平宽度，上下进液缓冲腔之间通过狭长的进液通道连通，使得液体经过上进液缓冲腔后，通过狭窄、细薄的排液口流出，排液口各点液体流速均匀，有效增强了进液腔内部和储液腔上表面各点液体的流动性。

进一步，所述出液腔包括从上至下依次设置的若干出液通道和出液缓冲腔，若干所述出液通道竖向并排布置且相互独立；若干所述出液通道的上端均与所述储液腔下端连通，下端均与所述出液缓冲腔连通；所述出液口与所述出液缓冲腔连通。

采用上述进一步方案的有益效果是：出液腔设置为若干出液通道和下出液缓冲腔，一方面使储液腔内各点液体均匀平缓的流入和流出，而且另一方面使得液体经过若干出液通道的分流，加强了储液腔内各点液体的流动性和相互之间的黏着效果，进一步增强了防凝固效果。