[发明专利]一种反射装置及可调谐激光器

权利要求书

1.一种反射装置，其特征在于，包括：

光传输层和凸出于所述光传输层的脊，所述脊远离所述光传输层的表面设有相互隔离的第一组加热器和第二组加热器；

所述光传输层位于所述脊第一侧的部分具有相互隔离的第一支撑臂和第二支撑臂，所述第一支撑臂靠近所述脊的端面为第一端面，所述第一端面沿垂直于所述脊的方向延伸后形成第一平板，所述第一平板从所述脊第一侧延伸至所述脊第二侧，所述第一组加热器至少部分设于所述脊远离所述光传输层的表面与所述第一平板相交的区域内；

所述第二支撑臂靠近所述脊的端面为第二端面，所述第二端面沿垂直于所述脊的方向延伸后形成第二平板，所述第二平板从所述脊第一侧延伸至所述脊第二侧，第一平板与第二平板之间隔离，所述第二组加热器至少部分设于所述脊远离所述光传输层的表面与所述第二平板相交的区域内。

2.根据权利要求1所述的反射装置，其特征在于，

所述光传输层位于所述脊第一侧的部分开设有至少一个第一窗口，所述第一支撑臂和所述第二支撑臂分别为所述第一窗口的横壁，所述第一窗口的横壁是指所述第一窗口内延伸方向垂直于所述脊的延伸方向的侧壁。

3.根据权利要求1或2所述的反射装置，其特征在于，

所述光传输层位于所述脊第二侧的部分具有相互隔离的第三支撑臂和第四支撑臂，所述第三支撑臂靠近所述脊的端面为第三端面，所述第三端面位于所述第一平板内，所述第四支撑臂靠近所述脊的端面为第四端面，所述第四端面位于所述第二平板内。

4.根据权利要求3所述的反射装置，其特征在于，

所述光传输层位于所述脊第二侧的部分开设有至少一个第二窗口，所述第三支撑臂和所述第四支撑臂分别为所述第二窗口的横壁，所述第二窗口的横壁是指所述第二窗口内延伸方向垂直于所述脊的延伸方向的侧壁。

5.根据权利要求1、2和4所述的反射装置，其特征在于，所述第一组加热器设于所述脊远离所述光传输层的表面与所述第一平板相交的区域内。

6.根据权利要求1、2和4所述的反射装置，其特征在于，

所述第二组加热器设于所述脊远离所述光传输层的表面与所述第二平板相交的区域内。

7.根据权利要求1、2和4所述的反射装置，其特征在于，

所述脊远离所述光传输层的表面中位于所述第一组加热器和所述第二组加热器之间的区域沉积有低电阻率金属。

8.根据权利要求1、2和4所述的反射装置，其特征在于，

所述第一组加热器内的每一加热器与所述脊之间具有绝缘层，或，所述第二组加热器内的每一加热器与所述脊之间具有绝缘层。

9.根据权利要求1、2和4所述的反射装置，其特征在于，所述反射装置还包括：

衬底层和牺牲层，所述牺牲层位于所述光传输层和所述衬底层之间，其中，所述牺牲层具有通孔，所述通孔的延伸方向平行于所述脊的延伸方向。

10.根据权利要求9所述的反射装置，其特征在于，

所述光传输层包括上包层、波导层和下包层，所述波导层位于所述上包层和所述下包层之间，且所述下包层位于所述波导层和所述牺牲层之间；

所述光传输层还包括光栅，所述光栅位于所述上包层中；或，所述光栅部分位于所述上包层且部分位于所述波导层；或，所述光栅位于所述波导层中；或，所述光栅部分位于所述下包层且部分位于所述波导层；或，所述光栅位于所述下包层中。