[发明专利]一种蓝宝石光学窗口的切割方法有效

专利信息
申请号: 201810326563.8 申请日: 2018-04-12
公开(公告)号: CN108422101B 公开(公告)日: 2020-04-14
发明(设计)人: 赵培;李旭光 申请(专利权)人: 无锡奥夫特光学技术有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;H01L21/304
代理公司: 总装工程兵科研一所专利服务中心 32002 代理人: 杨立秋
地址: 214000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 蓝宝石 光学 窗口 切割 方法
【权利要求书】:

1.一种蓝宝石光学窗口的切割方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1、对蓝宝石基片进行激光预切割,预留多个连接点;

步骤2、在所述蓝宝石基片的任意面镀制金属膜层;

步骤3、在所述金属膜层上贴上UV膜;

步骤4、切割掉连接点,并通过紫外光解UV膜,进行裂片;

在所述步骤1之前将蓝宝石基片进行双面抛光;所述连接点的宽度为最终切割得到的蓝宝石光学窗口直径的1/5~1/50。

2.如权利要求1所述的蓝宝石光学窗口的切割方法,其特征在于,所述连接点的数量为2~8个。

3.如权利要求1所述的蓝宝石光学窗口的切割方法,其特征在于,在所述步骤2前先进行超声波清洗,洗去表面的残渣。

4.如权利要求1所述的蓝宝石光学窗口的切割方法,其特征在于,所述金属膜层的材质为Ti、Cr、Ni、Sn、Cu、Pt、Au中的一种或几种。

5.如权利要求1所述的蓝宝石光学窗口的切割方法,其特征在于,所述步骤4中采用机械刀片进行切割。

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