[发明专利]一种蓝宝石光学窗口的切割方法有效
申请号: | 201810326563.8 | 申请日: | 2018-04-12 |
公开(公告)号: | CN108422101B | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 赵培;李旭光 | 申请(专利权)人: | 无锡奥夫特光学技术有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;H01L21/304 |
代理公司: | 总装工程兵科研一所专利服务中心 32002 | 代理人: | 杨立秋 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 光学 窗口 切割 方法 | ||
1.一种蓝宝石光学窗口的切割方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、对蓝宝石基片进行激光预切割,预留多个连接点;
步骤2、在所述蓝宝石基片的任意面镀制金属膜层;
步骤3、在所述金属膜层上贴上UV膜;
步骤4、切割掉连接点,并通过紫外光解UV膜,进行裂片;
在所述步骤1之前将蓝宝石基片进行双面抛光;所述连接点的宽度为最终切割得到的蓝宝石光学窗口直径的1/5~1/50。
2.如权利要求1所述的蓝宝石光学窗口的切割方法,其特征在于,所述连接点的数量为2~8个。
3.如权利要求1所述的蓝宝石光学窗口的切割方法,其特征在于,在所述步骤2前先进行超声波清洗,洗去表面的残渣。
4.如权利要求1所述的蓝宝石光学窗口的切割方法,其特征在于,所述金属膜层的材质为Ti、Cr、Ni、Sn、Cu、Pt、Au中的一种或几种。
5.如权利要求1所述的蓝宝石光学窗口的切割方法,其特征在于,所述步骤4中采用机械刀片进行切割。
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