[发明专利]法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量装置及方法有效
| 申请号： | 201810322100.4 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN108507616B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 黄学人;汪绍茂;曹健;舒华林;崔凯枫;晁思嘉;张平;袁金波;刘道信;孙成龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院武汉物理与数学研究所 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 武汉宇晨专利事务所 42001 | 代理人： | 李鹏;王敏锋 |
| 地址： | 430071 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 法布里珀罗腔 零膨胀 温度点 细度 快速测量装置 调制器 衍射 正极 负极 隔振装置 快速测量 激光器 分光镜 示波器 光路 腔镜 稳频 显示器 电路 激光 测量 | ||
1.法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量装置，包括激光器(14)，其特征在于，
激光器(14)输出设定频率的激光，设定频率的激光经光纤(1)和耦合头(2)输入到负极衍射调制器(3)中进行减频率调制，经负极衍射调制器(3)调制后的激光通过第一反射镜(4)反射进入到正极衍射调制器(5)中进行增频率调制，经正极衍射调制器(5)调制后的激光依次经过第二反射镜(6)、第三反射镜(7)反射后耦合进入法布里珀罗腔(8)，经过法布里珀罗腔(8)耦合后的激光经分光镜(9)分为透射光和反射光，透射光由CCD相机(12)监测共振模式信号并由显示器(13)显示共振模式信号，反射光由PD探测器(10)监测获得光功率强度信号，示波器(11)监测显示光功率强度信号。
2.利用权利要求1所述的法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量装置进行法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量方法，其特征在于，包括法布里珀罗腔的零膨胀温度点测量步骤：
步骤1、设定法布里珀罗腔(8)的温度；
步骤2、激光器(14)输出设定频率的激光；
步骤3、通过负极衍射调制器(3)对激光器(14)输出的激光进行减频率调节，通过正极衍射调制器(5)对激光器(14)输出的激光进行增频率调节，直至通过CCD相机(12)监测到透射光中的共振模式信号，共振模式信号通过显示器(13)进行显示；
步骤4、通过激光器(14)输出的激光的设定频率，以及负极衍射调制器(3)和正极衍射调制器(5)对激光器(14)输出的激光的频率的调节值获得共振频率；
步骤5、改变法布里珀罗腔(8)的温度，重复步骤2～4，获得法布里珀罗腔(8)在不同温度下的对应的共振模式信号以及共振频率；进而获得法布里珀罗腔(8)在不同温度下的共振频率的曲线，
步骤6、根据共振频率的曲线获得共振频率变化率为零时对应的法布里珀罗腔(8)的温度，即零膨胀温度点。
3.根据权利要求2所述的法布里珀罗腔的零膨胀温度点和细度快速测量方法，其特征在于，还包括法布里珀罗腔的细度快速测量步骤：
步骤1、激光器(14)输出设定频率的激光；
步骤2、通过负极衍射调制器(3)对激光器(14)输出的激光进行减频率调节，通过正极衍射调制器(5)对激光器(14)输出的激光进行增频率调节，并使得PD探测器(10)检测到的反射光的光功率强度信号最大；
步骤3、关闭负极衍射调制器(3)或者正极衍射调制器(5)的同时，示波器(11)记录反射光的光功率强度信号衰荡到零所需要的时间；
步骤4、通过测量的反射光的光功率强度信号衰荡到零所需要的时间，获得法布里珀罗腔(8)的腔镜细度。
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