[发明专利]一种行波微马达的驱动结构

权利要求书

1.一种行波微马达的驱动结构，其特征在于：包括环形支撑框和放置于所述环形支撑框内的圆环体，所述环形支撑框与所述圆环体通过若干个支撑梁连接；所述圆环体由上到下分别为第一电极层和基体，所述第一电极层包括若干个呈环形排列的扇环形电极，相邻两个所述扇环形电极间具有间隔，所述扇环形电极的外径小于所述基体的外径；所述基体的侧壁设置有若干个凹槽，所述凹槽的开口处位于所述扇环形电极的中线以及相邻两个所述扇环形电极的交界线上，若干个所述支撑梁均匀分布；所述支撑梁为6个，所述扇环形电极为12个，所述凹槽为24个；所述支撑梁一端连接在所述凹槽的开口处，另一端连接在所述环形支撑框上。

2.根据权利要求1所述的行波微马达的驱动结构，其特征在于：所述环形支撑框外侧还与行波微马达的基片相连。

3.根据权利要求1所述的行波微马达的驱动结构，其特征在于：所述基体由上到下分别为PZT薄膜、第二电极层和硅层。

4.根据权利要求1所述的行波微马达的驱动结构，其特征在于：所述支撑梁呈直线型或弯折型。

5.根据权利要求1所述的行波微马达的驱动结构，其特征在于：所述环形支撑框由上到下分别为PZT薄膜、第二电极层和硅层。

6.根据权利要求1所述的行波微马达的驱动结构，其特征在于：所述圆环体与所述环形支撑框的底部平齐。

7.根据权利要求6所述的行波微马达的驱动结构，其特征在于：所述环形支撑框的高度与所述基体的高度相等。