[发明专利]一种CVD石墨烯干法转移方法

权利要求书

1.一种CVD石墨烯干法转移方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、配制PVP（聚乙烯吡咯烷酮）、PVA（聚乙烯醇）胶体；

PVP胶：称取1g PVP白色粉末，加入1ml去离子水，再向其中加入2ml NVP，最后加入无水乙醇至10ml，并手动搅拌至完全溶解即可，密封、0℃-4℃低温保存；

PVA胶：称取1g PVA 白色粉末,加入10ml去离子水，置于磁力搅拌器上，温度设置为80℃，搅拌时间1h，直至完全溶解，呈粘稠胶状，密封、常温保存；

S2、按顺序旋涂胶体；

剪取所需大小的石墨烯/铜箔，将其放入密闭的去离子水上，使用50℃水浴加热3h后，取出，在其石墨烯面上依次旋涂所得的PVP胶和 PVA胶，烘箱烘干；

S3、将所得的PVA/PVP/石墨烯/铜箔取出，剥离PVA/PVP/石墨烯薄膜，然后将剥离的薄膜转移至两片透明载玻片中间，在热板上75℃预热90s，使薄膜自然舒展；

S4、转移石墨烯

将自然舒展的PVA/PVP/石墨烯薄膜浸入50℃的无水乙醇中5s后取出，粘附在清洗过后的衬底上，待自然晾干后，置于75℃的水蒸气中10min，此时薄膜与衬底牢固粘附，置于烘箱烘干，烘箱温度110℃，时间10min，得PVA/PVP/石墨烯/衬底；

S5、去胶

将PVA/PVP/石墨烯/衬底取出，置于75℃的去离子水中10min-15min，清除PVA/PVP胶体后，置于去离子水中清洗5次，置于烘箱内，烘干，即可。

2.如权利要求1所述的一种CVD石墨烯干法转移方法，其特征在于，所述步骤S2具体包括如下步骤：

S21、剪取所需大小的石墨烯/铜箔，将其放入密闭的去离子水上，使用50℃水浴加热3h后，取出，在其石墨烯面上通过匀胶机旋涂所得的PVP胶，匀胶机参数设置为：低速 1000转/分钟 时间6s，高速 2000转/分钟 时间30s，匀胶2次，匀胶完毕后将其转移至热板烘干，热板温度75℃，时间90s；

S22、将烘干后的PVP胶上通过匀胶机旋涂所得的PVA胶，匀胶机参数设置为：低速1000转/分钟 时间6s，高速 4000转/分钟 时间30s，匀胶1次，匀胶完毕后将其转移至烘箱烘干，烘箱温度110℃，时间15min。