[发明专利]一种复合纳米结构的紫外/红外光电探测器制备方法有效
| 申请号： | 201810318624.6 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN108735858B | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 张翔晖;张明光;沈典典;胡永明;顾豪爽 | 申请（专利权）人： | 湖北大学 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/02;H01L31/0224;H01L31/0296;H01L31/0392;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 武汉帅丞知识产权代理有限公司 42220 | 代理人： | 朱必武;王玉 |
| 地址： | 430062 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 红外光电探测器 复合纳米结构 低成本 石墨烯 红外双波段探测器 氧化锌纳米线阵列 还原氧化石墨烯 喷墨打印工艺 氧化锌纳米线 氧化锌种子层 单芯片集成 红外双波段 化学氧化法 氧化石墨烯 光探测器 化学还原 鳞片石墨 器件结构 柔性塑料 柔性弯曲 室温稳定 氧化还原 复合材料 半透明 热溶液 氧化锌 衬底 导电 喷涂 打印 配置 制作 | ||
【权利要求书】：
1.一种复合纳米结构的紫外/红外光电探测器制备方法，是一种单芯片集成的紫外、红外光电探测器，采用喷墨打印工艺制备；其特征在于：所述探测器采用氧化锌纳米线阵列作为紫外吸收层，石墨烯作为红外吸收层和电荷传输层；具体实施步骤如下：
（1）使用改进型Hummers法制备氧化石墨烯（GO）水溶液，加入添加剂配置成GO墨；
（2）在喷墨打印机上，将所配置的GO墨，喷打在聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）衬底上，制成下层是GO叉指电极，上层为GO层的叠层结构，所述位于上层的GO层用于后续工艺中形成石墨烯光吸收层；
（3）将GO膜进行热或者是化学还原处理，得到具有导电性的氧化还原石墨烯（RGO）膜；
（4）在RGO膜上喷涂ZnO种子层，随后使用热溶液法制备氧化锌纳米线阵列，得到紫外/红外光电探测器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
