[发明专利]低温电阻率测量装置及其安装方法

权利要求书

1.一种低温电阻率测试装置，连接外部冷源，用于对低温状态下待测样品的电阻率测量，其特征在于，包括：

热沉，与外部冷源连接并吸收其冷量；

样品垫，位于所述样品和所述热沉之间，为绝热导热材质；

至少两根探针，其底端指向所述待测样品；

绝缘架，设有上下贯通的、用于容纳所述待测样品和所述样品垫的空腔，其底端置于所述热沉上，所述绝缘架顶端的高度低于所述待测样品的顶端高度；

绝缘压环，位于所述样品上侧；

定位压板，位于所述绝缘压环上侧，其上设有供所述探针穿过的定位孔；

第一固定螺栓，从上至下依次穿过定位压板上开设的通孔、绝缘压环上开设的通孔、绝缘架上开设的通孔、热沉上开设的固定孔，将所述待测样品经所述样品垫固定于所述热层上，同时将所述绝缘架固定于所述热沉上；以及

加固压板，固定于所述定位压板上，其上表面安装有与所述探针一一对应的弹簧片，每根弹簧片具有可上下弹压的活动端，该活动端通过弹压其对应探针的顶端，将该探针的底端压于所述待测样品加固的上表面，该弹簧片同时作为测量的电极连接外部的测量导线。

2.根据权利要求1所述的低温电阻率测试装置，其特征在于，所述待测样品、所述样品垫置均呈圆盘形，所述绝缘架呈圆环形。

3.根据权利要求2所述的低温电阻率测试装置，其特征在于，所述样品垫为蓝宝石材质。

4.根据权利要求1所述的低温电阻率测试装置，其特征在于，所述外部冷源为G-M制冷机，所述热沉与G-M制冷机的冷头固定热连接。

5.根据权利要求4所述的低温电阻率测试装置，其特征在于，还包括加热器、温度传感器以及温度控制器，所述加热器、温度传感器固定于所述热沉上，所述温度控制器根据温度传感器的测试数据控制所述加热器对所述热沉进行加热从而控制所述热沉的温度。

6.根据权利要求1所述的低温电阻率测试装置，其特征在于，所述探针为四根且并排等间距设置。

7.根据权利要求1所述的低温电阻率测试装置，其特征在于，还包括防辐射屏蔽罩，其呈上端带盖板、下端开口的圆筒状且固定于所述热沉上。

8.根据权利要求1所述的低温电阻率测试装置，其特征在于，所述加固压板通过第二螺栓固定于所述定位压板上方，所述加固压板和所述定位压板之间设有间隙。

9.一种如权利要求1至8中任一项所述低温电阻率测试装置的安装方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一，将热沉固定在冷源上，样品垫置于热沉上，待测样品置于样品垫上；

步骤二，将绝缘架置于热沉上，同时使得样品垫及待测样品套于绝缘架内；

步骤三，将绝缘压环置于待测样品上侧，定位压板置于绝缘压环上侧；

步骤四，通过第一螺栓进行压紧操作，保证待测样品定位的同时将待测样品、样品垫与热沉紧密接触；

步骤五，将探针沿定位压板上的定位孔穿入，使得探针底端指向待测样品的上表面；

步骤六，将加固压板置于绝缘架上方，并将加固压板固定，将加固压板弹簧片的活动端压于探针顶端，并将弹簧片固定于加固压板上，将测量导线连接弹簧片。