[发明专利]一种质量灵敏度均一的石英晶体微天平质量传感器在审
| 申请号： | 201810308560.1 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN110361287A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 黄显核 | 申请（专利权）人： | 黄显核 |
| 主分类号： | G01N5/00 | 分类号： | G01N5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610031 四川省成都市金牛*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 质量灵敏度 法线 环状电极 几何中心 均匀性 基频 均一 石英晶体微天平 电子技术领域 上金属电极 下金属电极 质量传感器 电极结构 工作频率 金属电极 三个条件 上下电极 圆形晶片 圆形石英 不对称 金电极 电极 传感器 重合 晶片 近似 | ||
1.一种质量灵敏度均一的石英晶体微天平质量传感器，包括圆形石英晶片(1)，所述圆形石英晶片(1)上下两面分别具有上金属电极(2)和下金属电极(3)，经过圆形石英晶片(1)几何中心的法线与经过上金属电极(2)几何中心的法线和经过下金属电极(3)几何中心的法线三者保持重合；其特征在于，所述下金属电极(3)为一半径为m的圆电极；所述上金属电极(2)为一环状电极，此环状电极的内半径为n、外半径为m，n＜m，并且n大约等于(0.3～0.7)*m，也就是n的取值在m的一半左右。
2.根据权利要求1所述的石英晶体微天平质量传感器，其特征在于，所述上金属电极(2)和下金属电极(3)材料为金或铬+金，厚度大约为(0.3～0.7)*10-7米左右。
3.根据权利要求1或2所述的石英晶体微天平质量传感器，其特征在于，所述环型电极的半径m在1.0毫米到5.0毫米的范围内。而且此m值与工作频率有关，对10MHz的基频QCM，m值大约为1.5～3.0毫米之间，而对5MHz的基频QCM，m值大约为3.0～6.0毫米之间。
4.根据权利要求1、2或3所述的石英晶体微天平质量传感器，其特征在于，所述石英晶片(1)的直径在7.0mm到14.0mm的范围内。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的石英晶体微天平质量传感器，其特征在于，所述石英晶片(1)为AT切石英晶片，其切角范围从35°08′到35°25′。
6.根据权利要求1、2、3或4所述的石英晶体微天平质量传感器，其特征在于，所述石英晶体微天平质量传感器的标称频率为5MHz、10MHz或11MHz等，工作泛音次数为基频、3次泛音或5次泛音等。
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