[发明专利]一种对流量不敏感的微型热导检测器

权利要求书

1.一种对流量不敏感的微型热导检测器，其特征在于，包括：硅基底(1)、上玻璃盖板(2)、下玻璃衬底(3)，下玻璃衬底(3)与硅基底(1)的背面即下端面键合在一起，上玻璃盖板(2)与硅基底(1)的正面即上端面键合在一起；

硅基底(1)设有两个长方体微型热导池(12)，两个长方体微型热导池(12)为腔体结构，上下贯通硅基底(1)上下端面，且两个长方体微型热导池(12)沿长度方向在同一直线上；

在硅基底(1)背面即下端面针对每个长方体微型热导池(12)蚀刻有一个气体入口通道、一个入口分流通道、多个分支通道、一个出口汇流通道、一个气体出口通道，形成“总分总”式的气体通道；一个入口通道与一个入口分流通道连通，入口分流通道长度方向与长方体微型热导池(12)长度方向平行，出口汇流通道与入口分流通道平行，分支通道为直线型分支通道，多个分支通道并行，分别与入口分流通道、出口汇流通道垂直且连通，多个分支通道均穿过所对应的长方体微型热导池(12)下部，并与长方体微型热导池(12)长度方向垂直；出口汇流通道与气体出口通道连接，在连接处出口汇流通道长度方向与气体出口通道长度方向垂直；

两个长方体微型热导池(12)的气体通道，排布呈中心面对称，一个气体通道作为待测气体通道，另一个作为参考气体通道；

在硅基底(1)正面即上端面每个长方体微型热导池(12)上端口均固定设有两个网状支撑膜(13)，每个网状支撑膜(13)上表面沉积有一个热敏电阻(14)；热敏电阻(14)为多段折形结构并排串联形成平面状结构，即热敏电阻(14)通过网状支撑膜(13)悬挂于长方体微型热导池(12)上端口上；每个热敏电阻(14)的两端均连接有电极引线(15)，电极引线(15)位于硅基底(1)正面表面上；每个长方体微型热导池(12)上端口内的两个热敏电阻(14)沿长方体微型热导池(12)长度方向排列，在硅基底(1)上设有的四个热敏电阻(14)依次形成R1、R4、R2、R3四个电阻，四个电阻由电极引线(15)连接，并在硅基底(1)正面边缘处设置电极焊盘(16)。

2.按照权利要求1所述的一种对流量不敏感的微型热导检测器，其特征在于，R1、R4在一个长方体微型热导池(12)的上端口，R2、R3在另一个长方体微型热导池(12)的上端口；两个热导池中共计四个热敏电阻(14)构成惠斯通电桥的四个桥臂，并且电桥电路直接由电极引线(15)在硅基底(1)正面的绝缘层上连接完成。

3.按照权利要求1所述的一种对流量不敏感的微型热导检测器，其特征在于，入口通道和入口分流通道连接处长度方向是垂直的，在入口分流通道正对入口通道的侧壁上设有截面为扇形的凹槽(11)。

4.按照权利要求1所述的一种对流量不敏感的微型热导检测器，其特征在于，热敏电阻(14)凸出网状支撑膜(13)正面，所对应的在上玻璃盖板(2)上设有凹槽用于匹配热敏电阻(14)。

5.按照权利要求1所述的一种对流量不敏感的微型热导检测器，其特征在于，硅基底(1)分别与上玻璃盖板(2)、下玻璃衬底(3)静电键合。

6.按照权利要求1所述的一种对流量不敏感的微型热导检测器，其特征在于，入口分流通道宽度小于出口汇流通道宽度，气体入口通道宽度等于气体出口通道宽度，单个通道的分支通道有4个，且宽度在通道中最小，2个边缘的分支通道对应位于热导池边缘，4个分支通道间隔相等并排布置，并且对于气体入口、出口通道位置对称。

7.按照权利要求1所述的一种对流量不敏感的微型热导检测器，其特征在于，长方体微型热导池(12)宽度为每个分支通道宽度2～4倍。

8.按照权利要求1所述的一种对流量不敏感的微型热导检测器，其特征在于，单个微型热导池(12)上方布置两个网状支撑膜(13)及其上的热敏电阻(14)，两个热敏电阻(14)相对于下方气流方向为平行布置。