[发明专利]光学编码器

权利要求书

1.一种光学编码器，包括：

配置成发射准直光的光源；

包括衍射光栅的标尺，所述衍射光栅配置为将从所述光源发射的光衍射成多个衍射光束；

光接收单元，配置为接收由所述衍射光栅衍射产生的信号衍射光和噪声衍射光，所述信号衍射光在从所述光源发射的光的光轴的两侧上以预定衍射角行进，并且所述噪声衍射光在从所述光源发射的光的光轴的两侧上以比所述信号衍射光的衍射角更大的衍射角行进；以及

位于所述标尺和光接收单元之间的光学元件，

其中，所述光学元件包括在面向所述标尺或光接收单元的光学元件的一个面上周期性地形成的周期性结构部分；并且

所述周期性结构部分配置成将所述信号衍射光和噪声衍射光分成以预定行进角行进的第一分割光束和以比所述第一分割光束的行进角更大的行进角行进的第二分割光束，并且使所述噪声衍射光的第一分割光束的衍射效率低于所述信号衍射光的第一分割光束的衍射效率，

其中，所述光学元件包括形成在面向所述标尺的光学元件的一个面上的周期性结构部分，以及面向所述光接收单元并且与所述衍射光栅布置的方向平行的光滑表面；并且

所述光滑表面配置为完全反射所述第二分割光束。

2.根据权利要求1所述的光学编码器，

其中，所述周期性结构部分是形成为具有截面方波形状的多个凹槽部分。

3.根据权利要求1所述的光学编码器，

其中，所述周期性结构部分是形成为具有截面正弦波形状的多个凹槽部分。