[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

本申请公开了一种物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器具备：基体(基板)；悬架部(第一延出部)，沿所述基体的主面而在第一方向(Y轴方向)上延伸；固定部，将所述悬架部固定于所述基体上；固定电极部(第一固定电极指)，从所述悬架部沿着所述主面而在与所述第一方向交叉的第二方向(X轴方向)上延伸；以及可动电极部(第一可动电极指)，被设置成与所述固定电极部隔着间隔而相对，所述悬架部在所述第一方向上与所述固定部分离的部分的所述宽度比与所述固定部连接的部分的所述第二方向的宽度窄。

技术领域

本发明涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

近年来，已经开发有一种使用硅MEMS(Micro Electro Mechanical System，微机电系统)来制造出的传感器。作为这样的传感器，已知有一种静电电容型的物理量传感器，其具有通过一个锚栓来固定配置的固定电极和被设置成与固定电极隔着间隔而相对并能够位移的可动电极，根据这些两个电极之间的静电电容而检出加速度、角速度等物理量(例如，参照专利文献1)。

例如，专利文献1所涉及的物理量传感器具有从一片硅晶圆上分离而形成的两个固定电极部和可动电极部。在该物理量传感器中，各固定电极部具有：通过锚栓来固定于基板表面的固定部；从固定部呈直线状延伸的一定宽度尺寸的梁状的悬架部(腹板，web)以及从悬架部上以构成梳齿状的方式延伸而排列的多个固定分支电极(固定电极指)。另一方面，可动电极部具有：支承框部，通过弹性支承部以能够沿基板表面位移的方式支承于基板表面上；以及多个分支电极(可动相对电极指)，被配置为从相对的两个支承框部起以与前述的固定电极部的多个分支电极(固定电极指)相对的方式从锤部延伸。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第8516890号说明书

发明内容

然而，在专利文献1的物理量传感器中，悬架部从通过一个锚栓来固定配置的固定部延伸。在这样的结构中，例如在从外部向物理量传感器施加了冲击的情况等下，由于在被单点支承的固定部与从该固定部延伸的悬架部的连接部分上产生的应力集中，可能导致悬架部破损。

本发明为了解决上述的问题的至少一部分而做出，能够作为以下的方式或应用例来实现。

[应用例1]本应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，包括：基体；悬架部，与所述基体相对而设置；固定部，将所述悬架部固定于所述基体；固定电极部，在俯视观察中所述固定电极部以长边方向沿与所述悬架部和所述固定部排列的第一方向正交的第二方向的方式设于所述悬架部；以及可动电极部，设置成与所述固定电极部隔着间隔而相对，在俯视观察中，所述悬架部的沿所述第二方向的宽度在沿所述第一方向而与所述固定部一侧相反一侧比所述固定部一侧窄。

根据本应用例的物理量传感器，悬架部在第二方向上的宽度在与固定部在第一方向上分离的部分比与固定部连接的部分变窄，所以能够不减小固定部与悬架部的连接部分的强度且使悬架部的质量变小(轻)。即，能够既维持悬架部的坚牢度，又减小在固定部与悬架部的连接部分上产生的应力。由此，能够降低由于固定部与悬架部的连接部分上产生的应力集中而导致悬架部破损的风险。

[应用例2]本应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，包括：基体；悬架部，与所述基体相对而设置；固定部，将所述悬架部固定于所述基体；固定电极部，在俯视观察中所述固定电极部以长边方向沿与所述悬架部和所述固定部排列的第一方向正交的第二方向的方式设于所述悬架部；以及可动电极部，被设置成与所述固定电极部隔着间隔而相对，所述悬架部设有凹部和贯通孔中至少任一方。