[发明专利]片状晶圆加工用的载具

说明书

本发明公开了一种片状晶圆加工用的载具，包括开口方向朝上的壳体，壳体内设有用于调节产品水平倾角的调节机构，所述壳体内灌入磁流变液，以使得所述调节机构浸没于磁流变液内，当产品的下部连接于调节机构上时所述调节机构驱使产品摆动至设定位置后静置，且所述产品的待加工部分位于磁流变液液面的上方，所述壳体上设有磁场发生器，用于驱使壳体内的磁流变液固化或复位至呈流体状态。本发明提供一种片状晶圆加工用的载具，其对于载片晶圆的性能要求低，因此耗材成本小，同时在牢固装夹的基础上使得功能晶圆的碎片率低，因此整体产品的合格率高。

技术领域

本发明涉及晶圆加工的技术领域，具体地是一种片状晶圆加工用的载具。

背景技术

片状晶圆，尤其是厚度小于1mm的薄片晶圆，其在进行加工的过程中往往需要先临时键合在一个载片晶圆上，从而提高功能晶圆的强度，以便于进行加工处理，例如减薄打磨、蚀刻、切割等，最后将功能晶圆与载片晶圆进行分离，完成功能晶圆的加工。

并且在现有技术中为了便于功能晶圆与载片晶圆的分离，同时也为了降低加工成本，上述的载片晶圆较多的采用工程塑料，而这一工程塑料制成的载片晶圆随功能晶圆切割的过程同步完成切割，因此现有技术中的这一工程塑料制成的载片晶圆多为一次性耗材。

但是现有技术中这一功能晶圆和载片晶圆临时键合后的产品通过加工机床上的常规机械夹角进行装夹的过程中极易造成功能晶圆碎裂，因此加工难度大。而选用强度和硬度性能更佳的工程塑料，则会导致加工成本的提高，不利于企业生产经营。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一：提供一种片状晶圆加工用的载具，其对于载片晶圆的性能要求低，因此耗材成本小，同时在牢固装夹的基础上使得功能晶圆的碎片率低，因此整体产品的合格率高。

为此，本发明的一个目的在于提出一种片状晶圆加工用的载具，包括开口方向朝上的壳体，壳体内设有用于调节产品水平倾角的调节机构，所述壳体内灌入磁流变液，以使得所述调节机构浸没于磁流变液内，当产品的下部连接于调节机构上时所述调节机构驱使产品摆动至设定位置后静置，且所述产品的待加工部分位于磁流变液液面的上方，所述壳体上设有磁场发生器，用于驱使壳体内的磁流变液固化或复位至呈流体状态。调节机构调节产品使得产品摆动至待加工的位置且静止，然后通过磁场发生器使得磁流变液固化，通过固化后的磁流变液将原本部分浸没于磁流变液的产品固定限位，由此完成了产品的装夹。在此过程中产品的功能晶圆露置于磁流变液的液面上方，因此不会影响对于功能晶圆的加工。

根据本发明的一个示例，所述调节机构包括至少三个筒体，全部筒体沿水平方向间隔设置，且各筒体的下端均与壳体连接，所述筒体内设有一中心通道，中心通道内滑动配合有一活塞杆，活塞杆的下端面与中心通道的内表面合围形成控制腔，活塞杆的上端沿竖直方向露置于筒体上方，且活塞杆外露于筒体上方的端部设有用于与产品连接或脱开的连接件。通过三个连接件作为三个支点从而调节以及定位产品。

根据本发明的一个示例，所述连接件为开口方向朝上的吸盘。通过吸盘可以便于产品临时固定，并且当轴向拉扯时只要克服吸盘的吸力就可以使得产品脱开，因此结构简单可靠。

根据本发明的一个示例，所述活塞杆内设有连接管，连接管的上端与吸盘的内腔连通，连接管的下端与控制腔连通，所述控制腔通过控制管与壳体外的压力调节系统连接。通过连接管可以实现吸盘的吸合和脱开动作的自动化控制，减少由于克服吸盘吸力而拉扯导致产品破损。

根据本发明的一个示例，所述吸盘与活塞杆为一体式结构，所述筒体的下端通过万向接头与壳体转动配合。