[发明专利]一种束流测量快丝扫描装置

权利要求书

1.一种束流测量快丝扫描装置，其特征在于，包括：驱动机构、支撑转接机构、传动机构和摆针测量装置；

所述驱动机构包括电机和磁耦合旋转导入器；所述支撑转接机构包括：转接法兰、电机固定架、支撑架和支撑板；所述传动机构包括转动轴和联轴器，所述摆针测量装置包括摆针、摇臂和倾角轴；

所述电机通过第一联轴器与所述磁耦合旋转导入器一端相连，所述磁耦合旋转导入器另一端穿过所述转接法兰与第二联轴器相连，所述磁耦合旋转导入器的法兰与所述转接法兰的转接端相连，所述电机通过螺钉固接于所述电机固定架，所述电机固定架通过螺钉固接于所述转接法兰，所述支撑架通过螺钉固接于所述转接法兰的另一端，固定摆针测量装置的第一支撑板和第二支撑板通过螺钉固接于所述支撑架的端部；

所述第二联轴器另一端与第一转动轴相连，所述第一转动轴另一端穿过所述第一支撑板深入到轴承固定架内，第二转动轴深入到所述轴承固定架另一端，所述第一转动轴与所述第二转动轴通过轴承连接，所述摇臂的一端与所述第二转动轴相连，所述摇臂另一端通过销轴与倾角轴相连，所述倾角轴穿过所述第一支撑板和第二支撑板通过轴承Ⅳ与所述摆针相连。

2.根据权利要求1所述的束流测量快丝扫描装置，其特征在于，所述转接法兰上还设有两个用于连接电极的电极接口。

3.根据权利要求1所述的束流测量快丝扫描装置，其特征在于，所述第一支撑板和第二支撑板通过连接杆加固。

4.根据权利要求1所述的束流测量快丝扫描装置，其特征在于，所述第一转动轴穿过轴承固定架内的一对轴承Ⅰ，所述轴承Ⅰ中间设有隔环Ⅰ，所述第二转动轴穿过轴承固定架内的一对轴承Ⅱ，所述轴承Ⅱ中间设有隔环Ⅱ，所述摇臂与销轴连接处两端分别设有轴承Ⅲ与隔环Ⅲ。

5.根据权利要求1所述的束流测量快丝扫描装置，其特征在于，所述摇臂与第一转动轴之间设有压盖。

6.根据权利要求1所述的束流测量快丝扫描装置，其特征在于，在第一支撑板设有开孔的面上，以水平面为x轴，摆针针头部与x轴所成夹角，即摆动范围为-8.5°≤α≤96.7°。

7.根据权利要求1所述的束流测量快丝扫描装置，其特征在于，所述摆针之间的扫描丝为单丝。

8.根据权利要求1或7所述的束流测量快丝扫描装置，其特征在于，所述摆针材料为无氧铜或SUS304不锈钢。