[发明专利]光学滤光片及使用光学滤光片的固体摄像装置

权利要求书

1.一种光学滤光片，其为包括具有透明性的基板且在所述基板的至少一个面上包括介电多层膜的光学滤光片，所述光学滤光片的特征在于：

空气中的波长500nm的非偏振光线的入射角度0°～40°的范围内的实测透过率为70％以上，且

空气中的波长735nm～1100nm的范围内的非偏振光线的0°入射的光密度值为2以上；

所述介电多层膜包括至少一层为氧化硅的层，

所述介电多层膜具有缓冲层，

所述缓冲层具有各1层以上的折射率1.0以上且1.8以下的低折射率层、以及折射率1.9以上且2.8以下的高折射率层，

所述低折射率层与所述高折射率层的物理膜厚分别为60nm以下，

所述缓冲层为自所述基板起4层以上的外侧的层，并且存在于最外层以外的层上且交替层叠的所述低折射率层与所述高折射率层连续层叠至少两层以上，

L表示所述介电多层膜的层数为L层，j表示所述介电多层膜L层中的第j层，

波长500nm下，以下的式子所表示的空气中的等效导纳Y_E、与真空的光学导纳Y₀的差的绝对值在入射角度0°～40°的范围内具有至少两次极小值；

此处，所述空气中的等效导纳Y_E由以下的式子表示；

Y_E＝C/B (7)

此处，所述式子中的B、C由以下的式子表示；

此处，所述式子中的n_m为基板的折射率；

此处，所述式子中的M₁为光入射至所述介电多层膜的第1层，即入射侧最外层，的特性矩阵，所述式子中的n₁为所述第1层的折射率，所述式子中的d₁为所述第1层的物理膜厚；所述式子中的M_j为自所述第1层起朝向所述基板的第j层的特性矩阵；所述式子中的n_j为所述第j层的折射率，所述式子中的d_j为所述第j层的物理膜厚；λ为光的波长。

2.根据权利要求1所述的光学滤光片，其特征在于：所述光学滤光片的自所述至少一个面入射的波长500nm的非偏振光线的空气中的实测反射率在入射角度0°～40°的范围内具有至少两次极小值。

3.根据权利要求1或2所述的光学滤光片，其特征在于：所述光学滤光片的自所述至少一个面入射的波长500nm的非偏振光线的空气中的实测透过率在入射角度0°～40°的范围内具有至少两次极大值。

4.根据权利要求1或2所述的光学滤光片，其特征在于：所述介电多层膜具有多层所述缓冲层，且多层所述缓冲层构成在所述缓冲层之间间 隔存在超过60nm的物理膜厚的层的缓冲层部。

5.根据权利要求4所述的光学滤光片，其特征在于：所述缓冲层部自基板起存在于16层以内。

6.根据权利要求1或2所述的光学滤光片，其特征在于：所述介电多层膜的层数为16层～60层。

7.根据权利要求1或2所述的光学滤光片，其特征在于：所述光学滤光片的自所述至少一个面入射的450nm～630nm的非偏振光线的空气中的0°入射的实测透过率的平均为75％以上。

8.一种固体摄像装置，其特征在于：包含根据权利要求1至7中任一项所述的光学滤光片。