[发明专利]一种阳光控制镀膜玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种阳光控制镀膜玻璃，其设有膜层，所述膜层包括基体成分和掺杂成分，其特征是所述膜层为硅基纳米复合薄膜，所述基体成分为硅，所述掺杂成分包括碳、氮、氧元素，所述膜层为nc-SiC_xN_yO_z结构。

2.根据权利要求1所述的阳光控制镀膜玻璃，其特征在于所述膜层厚度为10～50nm，膜层吸收系数小于2.5％，可见光透过比为50～80％，可见光反射比为10～30％。

3.如权利要求1所述的阳光控制镀膜玻璃的制备方法，其特征是包括如下步骤：在浮法玻璃生产线的锡槽内，锡液温度670～700℃，将硅烷、乙烯、二氧化碳、氨气、笑气、氮气组成的镀膜混合气体，通入反应器，并通过反应器喷出，在玻璃表面热解形成薄膜。

4.根据权利要求3所述的阳光控制镀膜玻璃的制备方法，其特征在于所述镀膜混合气体中，硅烷体积浓度为5～20％，用氮气稀释；乙烯、二氧化碳、氨气、笑气的体积浓度均为100％。

5.根据权利要求4所述的阳光控制镀膜玻璃的制备方法，其特征在于所述镀膜混合气体的体积百分比为，硅烷30～50％，硅烷与乙烯体积比为(2～5):1，二氧化碳、氨气、笑气掺杂气体与乙烯气体的体积比例为0.5～2，其余为氮气。

6.根据权利要求5所述的阳光控制镀膜玻璃的制备方法，其特征在于所述混合气体的流量为50～120升/分钟。

7.根据权利要求6所述的阳光控制镀膜玻璃的制备方法，其特征在于所述硅烷为所述膜层的主形成物。

8.根据权利要求6所述的阳光控制镀膜玻璃的制备方法，其特征在于掺碳气源可选用乙烯和二氧化碳。

9.根据权利要求6所述的阳光控制镀膜玻璃的制备方法，其特征在于所述掺氮气源为氨、肼、三氟化氮、笑气的一种或多种。

10.根据权利要求6所述的阳光控制镀膜玻璃的制备方法，其特征在于所述掺氧气源为二氧化碳、笑气或其混合物。