[发明专利]动量空间光谱测量系统有效

专利信息
申请号: 201810280357.8 申请日: 2018-03-30
公开(公告)号: CN108519155B 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 资剑;胡松婷;石磊;张译文;殷海玮;崔靖 申请(专利权)人: 上海复享光学股份有限公司
主分类号: G01J3/28 分类号: G01J3/28;G01J3/02
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华
地址: 200433 上海市杨浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 动量 空间 光谱 测量 系统
【权利要求书】:

1.一种动量空间光谱测量系统,用于对微纳光子学材料进行动量空间光谱信息的探测与表征,其特征在于,至少包括下述部件:物镜、光学透镜La、光学透镜Lb、光谱探测设备,物镜、光学透镜La、光学透镜Lb、光谱探测设备沿同一直线光轴布置,使光信号依次通过所述的物镜、所述的光学透镜La、所述的光学透镜Lb后由所述的光谱探测设备接收;

在物镜后放置光学透镜La,在光学透镜La后放置光学透镜Lb,使物镜的后焦平面在光学透镜Lb后第一次成像,形成后焦平面第一次成像面M1,样品面在光学透镜La与光学透镜Lb之间第一次成像,形成样品面第一次成像面S1;将光谱探测设备的入光口放置于所述的光学透镜Lb后的后焦平面第一次成像面M1处;光学透镜La与物镜的后焦平面M0的距离D1满足以下条件:

0≤D1≤2fLa

光学透镜Lb与光学透镜La的距离Dab满足以下条件:

fLa<Dab≤2fLb+fLa

其中,fLa表示光学透镜La的焦距;fLb表示光学透镜Lb的焦距。

2.如权利要求1所述的动量空间光谱测量系统,其特征在于,所述的光谱探测设备由分光元件与光电探测设备组成;分光元件对光信号沿波长展开,光电探测设备获取单一波长或多个波长的光强信息;和/或,所述的物镜由一个透镜或反射镜组成,或者是多个透镜或多个反射镜的组合。

3.如权利要求1所述的动量空间光谱测量系统,其特征在于,光谱探测设备中使用单点光电探测设备,通过扫描的形式获取多波长光谱;

或,光谱探测设备中使用阵列光电探测设备,实现焦平面的成像或者光谱的采集。

4.如权利要求1所述的动量空间光谱测量系统,其特征在于,D1=fLa;和/或,Dab=fLa+fLb

和/或,在光谱探测设备前加入偏振元件,实现光学偏振性质的测量;

和/或,在光谱探测设备前加入滤光元件;

和/或,在样品面第一次成像面S1处放置光阑元件进行修饰。

5.如权利要求1所述的动量空间光谱测量系统,其特征在于,在光学透镜Lb与光谱探测设备之间沿光轴依次加入光学透镜Lc0、光学透镜Ld0,来自样品的光通过物镜后依次通过所述的光学透镜La、光学透镜Lb、光学透镜Lc0和光学透镜Ld0后由光谱探测设备接收。

6.如权利要求5所述的动量空间光谱测量系统,其特征在于,物镜的后焦平面在光学透镜Ld0后第二次成像,形成后焦平面第二次成像面M2;将光谱探测设备的入光口放置于所述光学透镜Ld0后的后焦平面第二次成像面M2处。

7.如权利要求5所述的动量空间光谱测量系统,其特征在于,光学透镜Lc0与后焦平面第一次成像面M1的距离D2满足以下条件:

0≤D2≤2fLc0

光学透镜Ld0与光学透镜Lc0的距离Dcd0满足以下条件:

fLc0<Dcd0≤2fLd0+fLc0

fLc0表示光学透镜Lc0的焦距,fLd0表示光学透镜Ld0的焦距。

8.如权利要求7所述的动量空间光谱测量系统,其特征在于,D2=fLc0;和/或,Dcd0=fLc0+fLd0

9.如权利要求5所述的动量空间光谱测量系统,其特征在于,样品面在光学透镜Lc0与光学透镜Ld0之间第二次成像,形成样品面第二次成像面S2;在样品面第二次成像面S2放置光阑元件进行修饰。

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