[发明专利]一种光学元件体散射缺陷探测装置及探测方法在审
| 申请号： | 201810273557.0 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108490598A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 王凤蕊;周晓燕;林宏奂;刘红婕;邓青华;石兆华;卓瑾;吴之清;邵婷;蒋晓东;黄进;叶鑫;李青芝;孙来喜;夏汉定 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G02B21/36;G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351 | 代理人： | 刘云青 |
| 地址： | 621054 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缺陷探测装置 散射 光学元件体 三维平移台 成像系统 分光单元 光束照射 光学元件 照明区域 照明系统 多光束 交叠 光源 探测 长方体结构 多角度照明 垂直入射 光学材料 清晰成像 体缺陷 成像 申请 承载 体内 参考 | ||
1.一种光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光学元件为长方体结构，包括多个光束照射面；所述光学元件体散射缺陷探测装置包括：
三维平移台，用于承载和平移所述光学元件；
光源，用于发出光束L0；
分光单元，用于将所述光束L0分为两束光束；
照明系统，用于将所述两束光束分为多束光束后垂直入射所述多个光束照射面，以形成多光束交叠照明区域；以及
成像系统，用于对所述多光束交叠照明区域进行成像。
2.如权利要求1所述的光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述照明系统包括多个反射镜，所述多个反射镜对应所述多个光束照射面设置。
3.如权利要求1所述的光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光学元件体散射缺陷探测装置还包括沿所述光束L0的光路依次设置的1/2波片及偏振分光棱镜。
4.如权利要求1所述的光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述分光单元包括在所述光束L0的光路上依次设置的1/4波片和半反半透镜。
5.如权利要求1所述的光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光源为激光器。
6.如权利要求1所述的光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光束的光斑为方形光斑。
7.如权利要求1所述的光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光学元件体散射缺陷探测装置还包括整形单元，用于将所述光束整形为具有预设强度分布的光束，所述整形单元位于所述光源的出光处。
8.如权利要求1所述的光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光学元件体散射缺陷探测装置还包括吸收陷阱，所述吸收陷阱位于所述多个光束的返回光路。
9.一种采用如权利要求1所述的光学元件体散射缺陷探测装置的探测方法，其特征在于，包括：
将所述光学元件置于所述三维平移台上；
打开所述光源，从多个方向向所述光学元件的内部散射缺陷进行照射；
拍摄所述光学元件的内部照明区域；以及
将所述三维平移台逐一移动预设的单位距离，重复上一个拍摄步骤，直至所述光学元件的内部全部被照射及拍摄完毕。
10.如权利要求9所述的光学元件体散射缺陷探测方法，其特征在于；将所述光学元件置于所述三维平移台之前，先对所述多个光束照射面进行抛光或者将所述光学元件置于装有折射率匹配液的容器中。
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