[发明专利]抗蚀剂用共聚物以及抗蚀剂用组合物在审
| 申请号： | 201810272754.0 | 申请日： | 2014-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108484822A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 加藤圭辅;安田敦;安斋龙一;前田晋一 | 申请（专利权）人： | 三菱化学株式会社 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/28;C08F220/42;G03F7/023;G03F7/039 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 共聚物 抗蚀剂图案 干蚀刻 环烃基 丙烯酸酯衍生物 表面粗糙度 耐干蚀刻性 金刚烷环 内酯骨架 桥环结构 灵敏度 对基板 键合 氰基 掩膜 图案 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种抗蚀剂用共聚物，其特征在于，具有：
下述式(4-1)表示的结构单元、
由下述结构单元m1以及下述结构单元m2组成的群组中选择的一种以上的结构单元，和选自下述式(8-1)～式(8-10)表示的具有酸离去基团的结构单元；
式(4-1)中，R41表示氢原子或甲基；
R表示氢原子或甲基。
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