[发明专利]一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统在审
| 申请号： | 201810271724.8 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108345181A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 张鸣;朱煜;杨开明;李鑫;成荣;张利;胡海;胡清平 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片台 双台交换系统 防撞保护结构 半导体光刻设备 安全防护能力 防撞系统 缓冲装置 内部部件 碰撞发生 气囊装置 双重安全 双重防撞 硅片 防撞 减小 零部件 损伤 配备 损害 恢复 应用 | ||
1.一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，该硅片台双台交换系统含有第一硅片台(11)、第二硅片台(12)、线缆台(7)和气囊装置(4)；每个硅片台包含硅片台动子(1)和硅片台定子(2)；所述气囊装置(4)设置在硅片台定子(2)四周的外边缘，其特征在于：在每个硅片台上均配备一套用来保护其内部部件免受碰撞和损害的缓冲装置(3)，并在缓冲装置上安装接收冲击信号的力传感器(5)，所述的缓冲装置设置在硅片台动子(1)和硅片台定子(2)之间，该缓冲装置(3)的外围尺寸应大于气囊装置(4)未充气时的外围尺寸。
2.如权利要求1所述的一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，其特征在于：所述的缓冲器(3)包括4N根阻尼杆(8)、2N根阻尼杆连接柱(9)和一个防撞连接板组件，其中N为偶数；所述的防撞连接板组件包括一个防撞连接板定子(3a)和一个防撞连接板动子(3b)；所述的防撞连接板定子(3a)固定在硅片台动子(1)下方，2N个阻尼杆连接柱(9)设置在防撞连接板定子(3a)下表面；所述的防撞连接板动子(3b)设置在防撞连接板定子(3a)下方，并通过阻尼杆连接柱(9)与防撞连接板定子(3a)连接在一起；所述的4N根阻尼杆中的2N根阻尼杆布置在防撞连接板定子(3a)与防撞连接板动子(3b)之间，每根阻尼杆(8)的两端分别固定在防撞连接板定子(3a)下表面和一个阻尼杆连接柱(9)的上端，另外2N根阻尼杆(8)的每一根阻尼杆(8)的其中一端固定在防撞连接板动子(3b)下方，另一端固定在阻尼杆连接柱(9)的下端。
3.如权利要求2所述的一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，其特征在于：所述的力传感器(5)设置在防撞连接板的定子部分和动子部分之间。
4.如权利要求2所述的一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，其特征在于：所述的阻尼杆由弹性记忆合金材料制成，所述的阻尼杆只能承受拉力。
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