[发明专利]一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备

说明书

本发明公开了一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备，属于OLED真空蒸镀装备领域。本发明的目的是解决现有装置设备复杂，工作效率低下的问题。本发明的基片样品架包括支撑架和基片架，通过在支撑架上设置一组凸台，使基片架下方可形成一用于掩模板架放入的操作空间，以便于快速更换掩模板。本发明还公开一种掩模板更换方法，首先将实际作业位置的掩模板架与基片架置于暂存位置；然后更换掩模板；最后将基片架与掩模板架重新对位并放置于实际作业位置。本发明还公开一种基片更换方法，首先将掩模板置于基片架上，再将基片从基片架上取出更换，再将掩模版与基片架重新对位，放置于作业位置。本发明可以应用于半导体器件的薄膜沉积等制程。

技术领域

本发明涉及OLED真空蒸镀装备领域，具体涉及一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(OLED)技术，是一种可用于显示及照明的固态发光技术，近年来得到了迅速发展，目前OLED面板主要通过真空蒸发镀膜的方法制备。在高校和研究所等科研单位，很多科研人员在做OLED有机材料的蒸镀研究，推动了中小型蒸镀设备的发展，提高研发效率。基片在蒸镀过程中需要更换掩模板，中小型设备的掩模板切换相对简单，但在大中型蒸镀设备中，掩模板更换通常需要机械手臂的配合，通过机械臂依次抓取存放在卡匣腔中的基片或掩模板，操作过程复杂。蒸镀过程中要频繁更换基片和掩模板，如何提高掩模板的更换效率，一直是亟待解决的问题。

发明内容

本发明针对现有技术中的上述问题，提供一种基片样品架、掩模板及基片更换方法，以及应用该装置的蒸镀设备，可提高设备的工作效率。

本发明公开了一种基片样品架，包括：支撑架、基片架，所述支撑架上设置有第一对位结构，所述基片架上设置有第二对位结构，所述第二对位结构可与所述第一对位结构相配合，可使所述基片架与所述支撑架对位；

所述支撑架上设置有凸台，用于临时放置所述基片架。

进一步地，基片架框体的拐角内侧设置有缺口，避免取放基片时，造成基片的边角处破损。

进一步地，所述第一对位结构在支撑架上的投影可为圆形、三角形、四边形等任意几何图形。

进一步地，当所述第一对位结构在支撑架上的投影为三角形、四边形等非圆形结构时，所述第一对位结构的数量可为一。

进一步地，所述凸台可为非连续设置的不在同一直线上的一组凸起结构，如两条平行设置的，在支撑架上投影为条状的凸台或多个圆台。

进一步地，所述基片样品架还包括一掩模板架；

所述基片架上设置有第三对位结构，所述掩模板架上设置有第四对位结构，所述第四对位结构与所述第三对位结构相配合，可使所述掩模板架与所述基片架对位。

进一步地，所述凸台上还设置有第五对位结构，所述第五对位结构与所述基片架上的第一对位结构配合，防止基片架在临时放置的凸台上滑动而产生偏移。

进一步地，所述支撑架为一“匚”字形结构，所述“匚”字形结构的内侧设置有与所述支撑架上表面平行的凹陷式台阶，使所述掩模板架可放置与所述台阶上，嵌入支撑架中。

优选地，所述限位台阶的高度H和掩模板架的厚度t的关系满足：H≤t, 优选为H＝t。

进一步地，所述第一和第五对位结构为对位孔，所述第二对位结构为对位销；或所述第一和第五对位结构为对位销，所述第二对位结构为对位孔。

优选地，所述对位销的上底面面积小于下底面面积，所述上底面为对位销远离其所在的架体的端面。

进一步地，所述对位销顶部设置有倒角，便于基片架滑落，底部还设置有一定高度的圆柱体。