[发明专利]阵列波导光栅及波长补偿方法

权利要求书

1.一种阵列波导光栅，包括：

底板，具有可相对运动的两个区域，以及用于驱动两个区域间相对运动的驱动杆；所述驱动杆热膨胀系数与底板不同，其包括两端分别固接于底板两个子区域上的固接驱动杆，以及至少一端在驱动杆形变时可分离接触于底板子区域上的接触驱动杆；

阵列波导光栅芯片，具有两个子部，且分别位于底板的两个区域之上；

其特征在于，

所述接触驱动杆的至少一端与底板子区域为点面接触。

2.根据权利要求1所述的一种阵列波导光栅，其特征在于，所述接触驱动杆的一端固接于底板的子区域上，另一端与底板子区域点面接触。

3.根据权利要求1所述的一种阵列波导光栅，其特征在于，接触驱动杆至少一端为锥形或球形。

4.根据权利要求1所述的一种阵列波导光栅，其特征在于，所述接触驱动杆为两个以上，并且具有不同的热膨胀系数。

5.根据权利要求1所述的一种阵列波导光栅，其特征在于，所述阵列波导光栅芯片的缝隙内填充有折射率匹配材料，该材料的折射率与阵列波导光栅被分割区域的波导材料的折射率相同或接近。

6.根据权利要求1所述的一种阵列波导光栅，其特征在于，所述接触驱动杆为两根以上，分别在高温段和低温段与底板子区域点面接触；所述高温段和低温段分别位于常温段两侧，所述常温段为所有接触驱动杆至少一端与底板子区域分离的温度段。

7.根据权利要求6所述的一种阵列波导光栅，其特征在于，所述高温段和/或低温段工作的接触驱动杆为两根以上。

8.一种阵列波导光栅波长补偿方法，包括：

利用热膨胀系数不同于底板的固接驱动杆固接底板可相对运动的两个子区域；利用热膨胀系数不同于底板的接触驱动杆固接于底板的一个子区域，并在该接触驱动杆的另一端设置驱动杆形变时与底板另一子区域的接触结构；

将阵列波导光栅芯片分割成两个子部，且分别置于底板的两个不同子区域上；

利用所述驱动杆形变带动阵列波导光栅芯片两个子部产生相对位移以进行波长补偿；

其特征在于，所述接触结构点面接触结构。

9.根据权利要求8所述的一种阵列波导光栅波长补偿方法，其特征在于，所述固接驱动杆为第一驱动杆，所述接触驱动杆包括第二驱动杆和第三驱动杆，并且，各驱动杆满足以下公式：

其中，第一驱动杆的有效长度为L₁，热膨胀系数为其与底板2的杠杆系数为k₁；第二驱动杆302的有效长度为L₂，热膨胀系数为其与底板2的杠杆系数为k₂；第三驱动杆的有效长度为L₃，热膨胀系数为其与底板的杠杆系数为k₃；其中，杠杆系统为底板第一区域和第二区域在驱动杆作用下的间距变化与驱动杆伸缩长度的比值。

10.根据权利要求8所述的一种阵列波导光栅波长补偿方法，其特征在于，所述固接驱动杆为第一驱动杆，所述接触驱动杆包括第二驱动杆和第三驱动杆，所述第一驱动杆301与底板的杠杆系数为0.63，第二驱动杆302与底板的杠杆系数为0.69，第三驱动杆303与底板的杠杆系数为0.5，所杠杆系统为底板第一区域和第二区域在驱动杆作用下的间距变化与驱动杆伸缩长度的比值。