[发明专利]一种SEM下纳米构件闭环操控方法及操作平台设计方案

权利要求书

1.一种SEM下纳米构件闭环操控方法及操作平台设计方案，其特征在于，用分子动力学模拟纳米构件的操作过程，建立操作角度、操作点和单步位移量的最佳匹配关系，从理论上解决纳构件移动、定位及拾取的效率和成功率问题。

2.一种SEM下纳米构件闭环操控方法及操作平台设计方案，其特征在于，提出了基于二维SEM图像的兴趣区域的模糊度评价函数来获取目标深度信息的方法，基于所获取的信息，提出基于SEM二维图像的三维闭环纳米操作控制方法；将只有二维反馈图像的SEM纳米操作环境三维可视化，提高了操作者的感知能力；

所述的三维可视化纳米操作环境不仅为操作者提供实时的图像信息，还可以实现在对新的控制方法和算法的虚拟预测预演满意之后，控制实际平台自动进行纳米操作，在节约大量研究经费的同时大大缩短了研究周期，为实现纳米操作的全自动化奠定了基础。

3.一种SEM下纳米构件闭环操控方法及操作平台设计方案，其特征在于，研究基于二维SEM图像的闭环纳米操作的控制方法，在大幅降低操作平台成本的同时使操控过程更加稳定、可靠，有利于提高纳米操作的控制精度和可靠性。

4.一种SEM下纳米构件闭环操控方法及操作平台设计方案，其特征在于，研究具有力觉临场感和预测预演功能的主从遥纳操作平台可以大大提高纳米操作的人机交互性能、成功率和效率，节约大量的研制时间和经费，并为纳米操作的自动化奠定基础；有利于促进纳操作与遥操作的结合，开拓纳米操作控制的新方式。