[发明专利]一种提高钙钛矿太阳能电池有效面积的激光加工方法有效
申请号: | 201810257317.1 | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN108346744B | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 程一兵;李天慧;黄福志 | 申请(专利权)人: | 武汉理工大学 |
主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/48 |
代理公司: | 42102 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人: | 崔友明;徐晓琴<国际申请>=<国际公布> |
地址: | 430070 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透明导电层 电池功能 切割 切线 对电极层 钙钛矿 太阳能电池 超快激光 激光加工 清洁基板 有效面积 金属 沉积 太阳能电池领域 激光加工参数 电子传输层 空穴传输层 串联电池 对基板 吸光层 制备 | ||
1.一种提高钙钛矿太阳能电池有效面积的激光加工方法,包括如下步骤:
(1)在清洁基板上沉积透明导电层,通过超快激光对基板进行切割,切割掉部分区域的透明导电层;
(2)清洁基板,然后在透明导电层上沉积电池功能层和金属对电极层,所述电池功能层依次为电子传输层、钙钛矿吸光层和空穴传输层;
(3)通过超快激光、采用不同的激光加工参数切割两条切线,其中一条切线同时切割掉部分电池功能层和金属对电极层,另一条切线在切割掉部分电池功能层的同时使金属对电极层下延搭接到透明导电层上,使之构成完整的串联电池结构。
2.根据权利要求1所述的激光加工方法,其特征在于,步骤(1)所述超快激光切割掉部分区域透明导电层的工艺参数为:皮秒模式,重复频率为200k~5M Hz,激光功率为14~18 W,振镜扫描速度为400~1000 mm/s。
3.根据权利要求1所述的激光加工方法,其特征在于,步骤(3)所述采用超快激光切割掉部分电池功能层和金属对电极层的工艺参数为:飞秒模式,重复频率为200k~5M Hz,激光功率为10~15 W,振镜扫描速度为800~2000 mm/s。
4.根据权利要求1所述的激光加工方法,其特征在于,步骤(3)所述采用超快激光切割掉电池功能层的同时使金属对电极搭接到透明导电层的工艺参数为:皮秒模式,重复频率为200k~5M Hz,激光功率为11~14 W,振镜扫描速度为1500~2000 mm/s。
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