[发明专利]基于静电吸附与阻塞原理的柔性变刚度机构及制作方法

权利要求书

1.基于静电吸附与阻塞原理的柔性变刚度机构，其特征在于，包括第一静电吸附装置(1)、中间加夹层(2)和第二静电吸附装置(3)；第一静电吸附装置(1)和第二静电吸附装置(3)结构相同，中间加夹层(2)设置在第一静电吸附装置(1)和第二静电吸附装置(3)之间，整体构成阻塞结构；

第一静电吸附装置(1)包括基底(4)、封膜(5)和电极材料(6)；电极材料(6)设置在基底(4)上表面，封膜(5)设置在电极材料(6)上表面，电极材料(6)在基底(4)上表面呈梳齿状；当第一静电吸附装置(1)和第二静电吸附装置(3)通直流电压时，第一静电吸附装置(1)、中间加夹层(2)和第二静电吸附装置(3)贴合。

2.根据权利要求1所述的基于静电吸附与阻塞原理的柔性变刚度机构，其特征在于，中间加夹层(2)为金属片、纸张或PET薄膜。

3.根据权利要求1所述的基于静电吸附与阻塞原理的柔性变刚度机构，其特征在于，基底(4)由质量配比为9：1的00-20型硅橡胶和纳米钛酸钡颗粒混合制成，厚度为200-400μm。

4.根据权利要求1所述的基于静电吸附与阻塞原理的柔性变刚度机构，其特征在于，电极材料(6)为碳膏和硅橡胶混合物，质量配比为1：1，厚度为150-200μm。

5.根据权利要求1所述的基于静电吸附与阻塞原理的柔性变刚度机构，其特征在于，封膜(5)为186型硅橡胶，厚度为200-400μm。

6.基于静电吸附与阻塞原理的柔性变刚度机构的制作方法，其特征在于，基于权利要求1至5任意一项所述的基于静电吸附与阻塞原理的柔性变刚度机构，具体步骤包括：

1)将PET薄膜放置在激光切割机的操作台上，对激光切割机输入画好的梳齿状电极形状，调好切割速度和切割功率，启动切割机，得到掩膜版；

2)制作静电吸附装置，使用流延机在PET薄膜上流延一层基底(4)，待其加热固化；然后将掩膜版紧密贴合在基底(4)上，再使用流延机在基底上流延一层电极材料(6)，然后将掩膜版取下，加热至电极材料(6)固化；接着在电极材料(6)上流延一层封膜(5)，加热使膜固化；最后使用刀片将静电吸附装置从PET薄膜上取下；

3)对两个静电吸附装置施加直流电压，第一静电吸附装置(1)的下表面吸附中间加夹层(2)的上表面，第二静电吸附装置(3)的上表面吸附中间夹层(2)的下表面，三层结构紧密贴合，增大了彼此间的摩擦力，提高了等效刚度。