[发明专利]基于静电吸附效应的微加速度计

权利要求书

1.一种基于静电吸附效应的微加速度计，包括：下基底（1）、上基底（13），所述下基底（1）和所述上基底（13）之间设有活动板（6）、支撑梁（8）及其锚点（7）、支撑柱（15），其特征在于：所述微加速度计还包括下固定驱动电极（2）和上固定驱动电极（12）、下活动驱动电极（5）和上活动驱动电极（9），所述下、上固定驱动电极（2、12）位于所述下基底（1）和所述上基底（13）的内表面上，下基底（1）和上基底（13）的内表面中心设有凸台，在所述凸台上分别设有下固定开关电极（3）和上固定开关电极（11），所述下、上活动驱动电极（5、9）位于所述活动板（6）的下、上表面，且所述活动板的下、上表面还设有活动开关电极（4、10）, 下、上固定驱动电极（2、12）上施加占宽比均为50%、频率相同、相位相差180°的矩形波电压，并通过测量两固定开关电极（3、11）与活动开关电极（4、10）闭合的时间间隔获得加速度值。

2.根据权利要求1所述的一种基于静电吸附效应的微加速度计，其特征在于：所述下、上固定开关电极（3、11）分别位于下、上基底（1、13）的中心位置，所述下、上活动开关电极（4、10）对应位于所述活动板（6）的下、上表面的中心位置。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于静电吸附效应的微加速度计，其特征在于：所述下、上固定开关电极（3、11）和所述下、上活动开关电极（4、10）为圆形，所述下、上固定驱动电极（2、12）和所述下、上活动驱动电极（5、9）为圆环形但并不完全闭合，以供开关电极的引线通过。

4.根据权利要求1或2所述的一种基于静电吸附效应的微加速度计，其特征在于：所述下固定驱动电极（2）和上固定驱动电极（12）表面分别覆盖有下绝缘层（14）、上绝缘层（16），所述凸台及其上的所述固定开关电极（3、11）高于所述绝缘层（14、16）。

5.根据权利要求1所述的一种基于静电吸附效应的微加速度计，其特征在于：所述微加速度计由所述活动板（6）和所述支撑梁（8）构成活动结构。

6.根据权利要求1或5所述的一种基于静电吸附效应的微加速度计，其特征在于：所述活动板（6）为刚性圆板。

7.根据权利要求5所述的一种基于静电吸附效应的微加速度计，其特征在于：仅有所述支撑梁（8）发生弯曲，所述活动板（6）与其表面的活动驱动电极（5、9）、活动开关电极（4、10）只作平移运动。

8.根据权利要求5所述的一种基于静电吸附效应的微加速度计，其特征在于：所述支撑梁（8）为非直梁，数目至少2根。

9.根据权利要求5所述的一种基于静电吸附效应的微加速度计，其特征在于：所述活动板上设有若干通孔。