[发明专利]一种显影装置和显影方法

说明书

本发明公开了一种显影装置和显影方法，该显影装置包括至少一个移载机，所述移载机用于在承载基板时形成显影池结构，所述显影池结构用于承接显影液以对浸泡于所述显影液中的所述基板进行显影。本发明能够有效提升显影液的利用率和基板的显影均匀性。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种显影装置和显影方法。

背景技术

液晶面板是通过在阵列基板和彩膜基板中间填充液晶，然后将阵列基板和彩膜基板对盒后再切割而制作形成的。其中彩膜基板包括各种不同的膜层，大部分膜层的制作都需要经过光刻胶的涂布、前烘、曝光、显影、后烘来完成。显影工艺是指通过基板和显影液的接触以使得涂覆在基板表面的光刻胶和显影液之间发生化学反应，从而在基板上形成图案。目前的显影设备中，基板由前传送段进入显影段，在基板于显影段内部继续向前传送的同时，喷淋装置将显影液不断喷洒在基板上，显影液同时不断地从基板上流下并回收循环利用，显影液经过一定的循环显影数量后作为废液排掉。

现有技术中，随着显影液循环次数的增加，显影液的浓度会不断下降，进而导致基板的显影效果越来越差。同时，废液中显影液的显影关键成分浓度还远大于零，显影液尚未被充分利用即作为废液被排掉。除此之外，由于喷淋装置的流量存在差异，会导致基板不同位置接触到的显影液的量或流速不同，继而导致基板的显影均匀性差。

发明内容

本发明提供一种显影装置和显影方法，能够有效提升显影液的利用率和基板的显影均匀性。

为实现上述目的，本发明提供了一种显影装置，包括：至少一个移载机；

所述移载机，用于在承载基板时形成显影池结构，所述显影池结构用于承接显影液以对浸泡于所述显影液中的所述基板进行显影。

可选地，所述移载机包括多个升降单元和对应设置于每个升降单元之上的伸缩杆，每个所述伸缩杆的一端设置于所述升降单元上，每个所述伸缩杆的远离所述升降单元的另一端设置有挡板；

所述升降单元，用于使所述伸缩杆上升或者下降；

所述伸缩杆，用于伸长或收缩；

多个所述挡板用于在所述伸缩杆位于设定高度并处于设定长度时与所述基板组成所述显影池结构。

可选地，所述移载机还包括转动单元和基板传送装置；

所述升降单元设于所述转动单元上并沿所述转动单元上升或者下降；

所述基板传送装置设于所述转动单元的顶端，用于承载基板并将所述基板传送至所述转动单元的正上方，所述基板的边缘区域超出所述基板传送装置。

可选地，所述伸缩杆的数量为四个，每个所述伸缩杆的另一端设置有一个挡板；

相对设置的两个伸缩杆位于第一方向上，相对设置的另两个伸缩杆位于第二方向上，所述第一方向与所述第二方向垂直。

可选地，

每个所述挡板包括侧壁和沿所述侧壁的靠近伸缩杆的一端凸出的底面；

在所述伸缩杆位于设定高度并处于设定长度时，所述侧壁贴合所述基板的对应的边缘区域的侧边，所述底面贴合所述基板的对应的边缘区域的下方，以使全部所述挡板以及所述基板形成所述显影池结构。

可选地，所述第一方向上的伸缩杆上的挡板的侧壁的长度与底面的长度相同；

所述第二方向上的伸缩杆上的挡板的侧壁的长度与底面的长度的差值等于所述第一方向上的伸缩杆上的挡板的底面的宽度。

可选地，所述显影装置还包括废液槽，所述移载机还包括转动单元，所述升降单元设于所述转动单元上并沿所述转动单元上升或者下降；