[发明专利]一种用于超导磁悬浮微小力测量装置的真空密封位移机构

权利要求书

1.一种用于超导磁悬浮微小力测量装置的手动可调节高度的真空密封位移机构，主要包括上法兰、导轨、下法兰、滑块、支撑杆、丝杠副、定位环、手轮、金属波纹管和密封环，其特征在于整体结构为对称的回转体，上法兰、导轨和滑块连接在一起，滑块穿过导轨置于上、下法兰之间，可以沿着导轨上下运动，滑块上端焊接支撑杆，下端连接丝杠副，通过丝杠螺母来调节支撑杆位移，整体结构密集紧凑；此外，将整个位移装置移出真空舱，安装在真空舱底板外部，仅使支撑杆上端穿过上法兰伸入真空舱内，并通过金属波纹管和密封环来隔绝空气，所述金属波纹管的上下两端分别焊接在上法兰和滑块上，密封环则置于上法兰和真空舱底板的连接处，金属波纹管、滑块、密封环、上法兰和真空舱底板形成一个封闭腔。

2.根据权利要求1所述的一种用于超导磁悬浮微小力测量装置的手动可调节高度的真空密封位移机构，其特征在于，采用了基于多导向杆的高紧凑轴对称变位移机构，三个长圆柱导轨轴对称分布，穿过滑块上的通孔，固定在上下法兰之间，严格限制了滑块的自由度，保证了滑块在移动时的直线度。