[发明专利]一种石墨烯红外传感器结构

权利要求书

1.一种石墨烯红外传感器结构，其特征在于，包括：

石墨烯层；

分设于所述石墨烯层上下表面上的第一铁电材料层、第二铁电材料层；

所述第二铁电材料层的下表面上设有第一电极，所述石墨烯层的上表面两端上分设有第二电极，所述第一铁电材料层的上表面上设有第三电极；

其中，所述第一铁电材料层与第二铁电材料层的剩余极化方向相反，以增强对石墨烯层内部载流子密度的影响，从而实现对红外信号的探测。

2.根据权利要求1所述的石墨烯红外传感器结构，其特征在于，所述第一电极的面积大于石墨烯层和第二铁电材料层的面积，且其垂直投影完全包围石墨烯层和第二铁电材料层。

3.根据权利要求1所述的石墨烯红外传感器结构，其特征在于，所述第三电极与两个第二电极之间在垂直投影方向上存在部分交叠区域。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的石墨烯红外传感器结构，其特征在于，所述第一铁电材料层的面积小于石墨烯层的面积，且其垂直投影容于石墨烯层以内；所述第二铁电材料层的面积大于石墨烯层的面积，且其垂直投影完全包围石墨烯层。

5.根据权利要求1所述的石墨烯红外传感器结构，其特征在于，还包括上下相连设置的第一介质层和第二介质层，所述第一介质层将石墨烯层、第二电极、第一铁电材料层、第三电极包容在其中，所述第二介质层将第二铁电材料层、第一电极包容在其中。

6.根据权利要求5所述的石墨烯红外传感器结构，其特征在于，还包括设于第一介质层表面上并分别连接第一电极、第二电极、第三电极的第一电极引出、第二电极引出、第三电极引出。

7.根据权利要求6所述的石墨烯红外传感器结构，其特征在于，所述第一电极引出、第二电极引出、第三电极引出分别通过通孔连接第一电极、第二电极、第三电极。

8.根据权利要求1所述的石墨烯红外传感器结构，其特征在于，所述第一铁电材料层和第二铁电材料层材料为PZT。

9.根据权利要求1所述的石墨烯红外传感器结构，其特征在于，所述石墨烯层还作为对第一铁电材料层和第二铁电材料层进行极化的初始电极。