[发明专利]具有浮岛的片上电容器

权利要求书

1.一种用于电容器的结构，该结构包括：

介电层；

第一金属端子，具有侧边；

第二金属端子，具有侧边，

多个第一金属指，具有平行布置，各该多个第一金属指具有端部并自该第一金属端子的该侧边向该端部延伸；以及

多个第一浮岛，分别由金属组成并通过该介电层与该多个第一金属指、该第一金属端子、该第二金属端子电性隔离，且该多个第一浮岛通过该介电层彼此电性隔离，各该多个第一浮岛与该多个第一金属指的其中相应一个的该端部呈间隔关系布置，且该多个第一浮岛分别被布置于该多个第一金属指的该端部与该第二金属端子的该侧边之间。

2.如权利要求1所述的结构，还包括：

多个第二金属指，具有平行布置并与该多个第一金属指交错，各该多个第二金属指具有端部；以及

多个第二浮岛，分别由金属组成并通过该介电层与该多个第二金属指、该多个第一浮岛、该第一金属端子、该第二金属端子电性隔离，且该多个第二浮岛通过该介电层彼此电性隔离，各该多个第二浮岛与该多个第二金属指的其中相应一个的该端部呈间隔关系布置。

3.如权利要求2所述的结构，其中，各该多个第二金属指被布置于该第一金属端子的该侧边与该第二金属端子的该侧边之间，且该多个第二金属指自该第二金属端子的该侧边向该多个第二金属指的该相应端部延伸。

4.如权利要求3所述的结构，其中，该多个第一金属指被布置于该第一金属端子的该侧边与该第二金属端子的该侧边之间。

5.如权利要求2所述的结构，其中，该多个第二浮岛分别被布置于该多个第二金属指的该端部与该第一金属端子的该侧边之间。

6.如权利要求2所述的结构，其中，该多个第二金属指被布置于该第一金属端子的该侧边与该第二金属端子的该侧边之间，且该多个第二金属指与该第一金属端子的该侧边隔开并与该第二金属端子的该侧边隔开。

7.如权利要求1所述的结构，还包括：

多个第二金属指，具有平行布置并以相应间隔关系与该多个第一金属指交错，

其中，该多个第一金属指与该多个第二金属指具有第一间距的侧到侧布置，且该多个第一浮岛以该第一间距与该第二金属端子的该侧边隔开。

8.如权利要求7所述的结构，还包括：

多个第二浮岛，分别由金属组成并与该多个第二金属指电性隔离，其中，该多个第二浮岛以该第一间距与该第一金属端子的该侧边隔开。

9.如权利要求8所述的结构，其中，该多个第一浮岛以大于该第一间距的第二间距与该第一金属指的该端部隔开，且该多个第二浮岛以该第二间距与该第二金属指的该端部隔开。

10.如权利要求7所述的结构，其中，该多个第一浮岛以大于该第一间距的第二间距与该第一金属指的该端部隔开。

11.一种形成用于电容器的结构的方法，该方法包括：

形成介电层；

形成具有侧边的第一金属端子；

形成具有侧边的第二金属端子，

形成具有平行布置的多个第一金属指；以及

形成多个第一浮岛，其分别由金属组成并通过该介电层与该多个第一金属指、该第一金属端子、该第二金属端子电性隔离，且该多个第一浮岛通过该介电层彼此电性隔离，

其中，各该多个第一金属指具有端部并自该第一金属端子的该侧边向该端部延伸，以及各该多个第一浮岛与该多个第一金属指的其中相应一个的该端部呈间隔关系布置，且该多个第一浮岛分别被布置于该多个第一金属指的该端部与该第二金属端子的该侧边之间。