[发明专利]一种抛光机有效
申请号: | 201810223241.0 | 申请日: | 2018-03-16 |
公开(公告)号: | CN108161702B | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 侯晶;李洁;廖德锋;陈贤华;谢瑞清;钟波;王健;许乔 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/12 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 符莹莹 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 放置盘 抛光盘 保持架 抛光机 竖轴线 第二驱动装置 第一驱动装置 可转动 转动 驱动 抛光设备 自转轴线 粗抛光 放置孔 晶体的 精抛光 | ||
1.一种抛光机,其特征在于,包括:
机架;
抛光盘,所述抛光盘可转动的设置于所述机架;
第一驱动装置,所述第一驱动装置用于驱动所述抛光盘相对所述机架绕第一竖轴线转动;
第一放置盘,所述第一放置盘上设有用于放置晶体的第一放置孔,所述第一放置盘放置于所述抛光盘上;
第一保持架,所述第一保持架可转动的设置于所述机架,所述保持架将所述第一放置盘保持在所述抛光盘上;
第二驱动装置,所述第二驱动装置用于驱动所述第一保持架相对所述机架绕第二竖轴线转动,以改变所述第一放置盘的自转轴线与第一竖轴线的距离;
所述第一保持架包括架本体、第一保持体、第二保持体和弹性机构;
所述架本体与所述机架转动连接,所述第一保持体与所述第二保持体均与所述架本体铰接,所述第一保持体与所述第二保持体通过所述弹性机构连接,所述弹性机构具有阻止所述第一保持体与所述第二保持体相互远离的趋势,所述第一放置盘被保持于所述第一保持体与所述第二保持体之间。
2.根据权利要求1所述的抛光机,其特征在于,所述抛光机还包括第二放置盘和第二保持架;
所述第二放置盘上设有用于放置晶体的第二放置孔,所述第二放置盘放置于所述抛光盘上;
第二保持架,所述第二保持架设于所述机架,所述第二保持架将所述第二放置盘保持在所述抛光盘上。
3.根据权利要求2所述的抛光机,其特征在于,所述第二保持架可转动的设于所述机架,所述第二保持架能够相对所述机架绕第三竖轴线转动;
所述第一保持架与所述第二保持架关于所述第一竖轴线中心对称;
所述第二驱动装置能够驱动所述第一保持架与第二保持架向相同的方向同步转动。
4.根据权利要求3所述的抛光机,其特征在于,所述第一保持架与所述机架通过第一竖轴连接,所述第一保持架与所述第一竖轴连接,所述第一竖轴与所述机架转动连接;
所述第二保持架与所述机架通过第二竖轴连接,所述第二保持架与所述第二竖轴连接,所述第二竖轴与所述机架转动连接;
所述第一竖轴与所述第二竖轴间设有同步机构,所述第一竖轴与所述第二竖轴通过所述同步机构传动连接。
5.根据权利要求4所述的抛光机,其特征在于,所述同步机构包括第一同步轮、第二同步轮和同步带,所述第一同步轮设于所述第一竖轴上,所述第二同步轮设于所述第二竖轴上,所述第一同步轮与所述第二同步轮通过所述同步带连接。
6.根据权利要求4所述的抛光机,其特征在于,所述抛光机还包括第三驱动装置和第四驱动装置;
所述第一保持架可移动的设置于所述第一竖轴,所述第三驱动装置能够驱动所述第一保持架相对所述第一竖轴竖向移动;
所述第二保持架可移动的设置于所述第二竖轴,所述第四驱动装置能够驱动所述第二保持架相对所述第二竖轴竖向移动。
7.根据权利要求4所述的抛光机,其特征在于,所述第二驱动装置包括动力件、蜗轮和蜗杆,所述蜗轮固定于所述第一竖轴,所述蜗轮与蜗轮啮合,所述蜗杆可转动的设置于所述机架,所述动力件用于驱动蜗杆转动。
8.根据权利要求1所述的抛光机,其特征在于,所述弹性机构包括第一连杆、第二连杆、推杆和弹性件;
所述第一连杆的一端与所述第一保持体铰接,所述第一连杆的另一端与所述推杆铰接,所述第二连杆的一端与所述第二保持体铰接,所述第二连杆的另一端与所述推杆铰接,所述推杆可移动的设置于所述架本体,所述弹性件作用于所述推杆与所述架本体之间;
当所述第一保持体与所述第二保持体的角度增大时,所述推杆能够相对所述架本体移动,以压缩所述弹性件。
9.根据权利要求1所述的抛光机,其特征在于,所述第一保持架还包括第一压轮和第二压轮,所述第一压轮可转动的设置于所述第一保持体,所述第二压轮可转动的设置于所述第二保持体,所述第一压轮和所述第二压轮均与所述第一放置盘相切。
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