[发明专利]冷却系统

说明书

本发明实施例提供一种冷却系统包括塔体、散热组件、进液单元、集液槽、风扇单元及补液及消泡单元。塔体具有出风口与入风口。散热组件配置于塔体内且位于出风口与入风口之间。进液单元连接塔体以提供冷却液到塔体，冷却液的流动路径通过散热组件。集液槽连接塔体。散热组件设置于进液单元与集液槽之间，集液槽用以收集通过散热组件的冷却液。风扇单元设置于塔体以驱动气流从入风口进入塔体并流经散热组件而从出风口排出塔体。补液及消泡单元连接塔体并包括导液管，其设置于集液槽上方并包括多个喷液孔。各喷液孔的轴心方向与重力方向间的夹角介于20度至60度之间。

技术领域

本发明实施例涉及一种冷却系统。

背景技术

水资源的有效利用是产业发展的重要因素，其对用水的需求随着工业的持续发展而不断增加，因此如何有效节省用水达成水资源使用优化，成为企业追求永续发展的重要目标之一。冷却水塔于工业应用上非常广泛，特别于半导体产业在量产过程中需要使用大量的冷却用水，其一般皆以制程回收水作为主要水源。

然而，将半导体业工艺的废水回收再利用，提供给冷却水塔使用，长时间下来会产生大量的泡沫。这种产生的泡沫不但会影响冷却水塔本身的散热效率，同时亦会使冷却水化学品加药量(例如消泡剂量)增加。如此一来，不仅增加生产成本，更会增加对环境所造成的伤害。

发明内容

本发明实施例是针对一种冷却系统，可降低消泡剂的使用量并且可达到良好的消泡效果。

根据本发明的实施例，冷却系统包括塔体、多个散热组件、进液单元、集液槽、风扇单元以及补液及消泡单元。塔体具有出风口与入风口。散热组件配置于塔体内且位于出风口与入风口之间。进液单元连接塔体以提供冷却液到塔体，冷却液的流动路径通过散热组件。集液槽连接塔体。散热组件设置于进液单元与集液槽之间。集液槽用以收集通过散热组件的冷却液。风扇单元设置于塔体，以驱动气流从入风口进入塔体并流经散热组件而从出风口排出塔体。补液及消泡单元连接塔体并包括导液管，导液管设置于集液槽上方并包括多个喷液孔，其中各喷液孔的轴心方向与重力方向之间的夹角介于20度至60度之间。

附图说明

结合附图阅读以下详细说明，会最好地理解本发明实施例的各个方面。应注意，根据本行业中的标准实务，各种特征并非按比例绘制。事实上，为论述清晰起见，可任意增大或减小各种特征的尺寸。

图1为依照本发明某些例示性实施例的冷却系统的示意图；

图2为依照本发明某些例示性实施例的冷却系统的补液及消泡单元的使用情境示意图；

图3为依照本发明某些例示性实施例的冷却系统的补液及消泡单元的示意图；

图4为依照本发明某些例示性实施例的冷却系统的补液及消泡单元的消泡情境示意图。

附图标号说明

100：冷却系统

110：塔体

112：出风口

114：入风口

120：散热组件

130：进液单元

132：喷嘴

140：集液槽

142：出液口

150：风扇单元

160：补液及消泡单元

162：导液管

164：喷液孔

170：冷却液管路

180：冷却液储存槽