[发明专利]一种制备大面积铜Cu(111)单晶的方法有效

专利信息
申请号: 201810218065.1 申请日: 2018-03-16
公开(公告)号: CN110273176B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 武斌;张家宁;杨贺;刘云圻 申请(专利权)人: 中国科学院化学研究所;中国科学院大学
主分类号: C30B1/02 分类号: C30B1/02;C30B29/02;C30B33/02;C30B33/00;C22F1/08
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 关畅
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 制备 大面积 cu 111 方法
【权利要求书】:

1.一种制备单晶Cu(111)的方法,包括如下步骤:将多晶铜箔进行若干次处理,得到所述单晶Cu(111);

每次处理均为抛光和退火;

所述若干次至少为3次。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述若干次为3次或4次。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述抛光步骤中,抛光方法为电化学抛光。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于:所述电化学抛光步骤中,所用抛光液由水、磷酸、乙醇、异丙醇和尿素组成;

电压为3 V-5 V;

电流为2 A-4 A;

抛光时间为2 min-5 min。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:所述抛光液中,水、磷酸、乙醇、异丙醇和尿素的用量比为250 mL:125 mL:125 mL:25 mL:4g。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述退火在惰性气体和还原性气体存在的条件下进行;

惰性气体的流量为100 sccm-400 sccm;

还原性气体的流量为50 sccm-200 sccm;

退火温度为1070 oC-1083 oC;

退火时间为30 min-180 min。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于:所述惰性气体为氩气或氮气;

所述还原性气体为氢气。

8.根据权利要求1-7中任一所述的方法,其特征在于:所述方法还包括如下步骤:每次退火后,将铜箔自然冷却至室温。

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