[发明专利]掩膜板、信号线及数字标识的制备方法、基板及显示装置

权利要求书

1.一种掩膜板，包括：依次排列的第一单元、第二单元和第三单元；所述第一单元包括：X₁个走线图案；所述第二单元包括：X₂个走线图案；所述第三单元包括：X₃个走线图案；X₁、X₃≥1，X₂≥3；所述X₁个走线图案、所述X₂个走线图案和所述X₃个走线图案均平行排列；其特征在于，

所述第一单元还包括：位于所述X₁个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X₁个数字标识图案；沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X₁个数字标识图案的数字为按照由小到大的顺序排列的X₁个连续整数；

所述第二单元还包括：位于所述X₂个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X₂个标识组，每个标识组均包含N个数字标识图案，所述X₂个标识组中所有数字标识图案的数字为N*X₂个连续整数，N≥2；其中，沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X₂个标识组中位于相同排列位置处的数字标识图案的数字为由小到大排列的X₂个连续整数，所述第二单元中的第1个标识组中的N个数字标识图案的最小数字比所述第一单元中的最后1个数字标识图案的数字大1；

所述第三单元还包括：位于所述X₃个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X₃个数字标识图案；沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，所述X₃个数字标识图案的数字为按照由小到大的顺序排列的X₃个连续整数，且所述第三单元中的第1个数字标识图案的数字比所述第二单元中的最后1个标识组中的N个数字标识图案的最大数字大1；

所述第一单元还包括：位于所述X₁个走线图案的另一端且分别标记每个走线图案的X₁个数字标识图案，同一个走线图案两端的所述数字标识图案的数字相同；

所述第二单元还包括：位于所述X₂个走线图案的一端且分别标记每个走线图案的X₂个标识组，每个标识组均包含N个数字标识图案，同一个走线图案两端的所述标识组包括的N个数字标识图案的排列方式和数字均相同；

所述第三单元还包括：位于所述X₃个走线图案的另一端且分别标记每个走线图案的X₃个数字标识图案，同一个走线图案两端的所述数字标识图案的数字相同。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，沿所述第一单元指向所述第三单元的方向，每个标识组中的所述N个数字标识图案的数字均由大到小依次排列；其中，

所述第一单元还包括：位于最后1个数字标识图案靠近所述第二单元一侧的(N-1)个保护图案，所述(N-1)个保护图案与所述第二单元中的最后1个标识组中的除第1个数字标识图案之外的其余(N-1)个数字标识图案一一对应；所述保护图案用于在所述第二单元重复拼接曝光时，保护所述第二单元前一次曝光后与最后1个标识组中其余(N-1)个数字标识图案对应区域的光刻胶；

和/或，

所述第三单元还包括：位于第1个数字标识图案靠近所述第二单元一侧的(N-1)个保护图案，所述(N-1)个保护图案与所述第二单元中的第1个标识组中的除最后1个数字标识图案之外的其余(N-1)个数字标识图案一一对应；所述保护图案用于在所述第二单元重复拼接曝光时，保护所述第二单元后一次曝光时与第1个标识组中其余(N-1)个数字标识图案对应区域的光刻胶。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，

当采用所述掩膜板进行曝光的光刻胶为正性光刻胶时，所述数字标识图案为不透光的数字，所述保护图案为遮光块，且所述遮光块的面积大于对应的所述不透光的数字的面积；

或者，当采用所述掩膜板进行曝光的光刻胶为负性光刻胶时，所述数字标识图案为透光的数字，所述保护图案为透光块，所述透光块的面积大于对应的所述透光的数字的面积。