[发明专利]有机剥膜液在审
| 申请号： | 201810212590.2 | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN108319118A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 冯献超;冯泽宪;唐瑞泽 | 申请（专利权）人： | 昆山长优电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 215341 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 剥膜液 剥膜 表面活性剂 产品良率 干膜残留 有机溶剂 缓蚀剂 无机碱 有机碱 产能 干膜 金属 攻击 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种有机剥膜液，其特征在于包括以下各组分且各组分重量百分含量为：
有机碱：1～15％；
无机碱：0.4～6％；
有机溶剂：1～5％；
表面活性剂：0.1～5％；
缓蚀剂：0.1～5％；
水：余量。
2.根据权利要求1所述的一种有机剥膜液，其特征在于：所述有机碱为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺、多烯多胺、2-氨基-2-甲基-1-丙醇、氨水、胆碱中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的一种有机剥膜液，其特征在于：所述无机碱为氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、硅酸钠、醋酸钠、甲酸钠、草酸钠中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种有机剥膜液，其特征在于：所述有机溶剂为甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的一种有机剥膜液，其特征在于：所述表面活性剂为异构十三醇聚氧乙烯醚、月桂醇聚氧乙烯醚、异辛醇聚氧乙烯醚、聚乙二醇、聚丙二醇、十二烷基苯磺酸钠、辛基酚聚氧乙烯醚中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的一种有机剥膜液，其特征在于：所述缓蚀剂为3-氨基-5-巯基-1，2，4三氮唑、3-巯基-1，2，4三氮唑、1-羟基苯并三唑、1-苯基-5-巯基四氮唑中的至少一种。
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