[发明专利]低损铜纳米粗化剂在审
| 申请号： | 201810212563.5 | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN108425114A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 冯献超;冯泽宪;唐瑞泽 | 申请（专利权）人： | 昆山长优电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 215341 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 粗化 铜面 氧化剂 表面活性剂 废水处理 结合力 络合剂 排放量 损耗量 无机酸 阻焊膜 药水 镀铜 干膜 微蚀 制程 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种低损铜纳米粗化剂，其特征在于包括以下各组分且各组分重量百分含量为：
无机酸：1～10％；
氧化剂：1～10％；
表面活性剂：0.1～2％；
络合剂：0.1～5％；
水：余量。
2.根据权利要求1所述的一种低损铜纳米粗化剂，其特征在于：所述无机酸为硫酸、硝酸、甲酸、乙酸、乳酸中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的一种低损铜纳米粗化剂，其特征在于：所述氧化剂为双氧水、过硫酸钠、过硫酸氢钾中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种低损铜纳米粗化剂，其特征在于：所述表面活性剂为异构十三醇聚氧乙烯醚、异辛醇聚氧乙烯醚、乙二醇、聚乙二醇、聚丙二醇、邻甲酚磺酸、苯酚磺酸、苯酚磺酸钠、对羟基苯磺酸、脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的一种低损铜纳米粗化剂，其特征在于：所述络合剂为单乙醇胺、三乙醇胺、乙二胺四乙酸四钠、柠檬酸钠、苹果酸钠、硫酸钠中的至少一种。
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